中古 ASYST SMIF-300FL #293651670 を販売中

ASYST SMIF-300FLは、半導体ウェーハ処理の高い要求に応えるために設計された最先端のウェーハハンドラです。コンポーネントとクロス機能サブシステムの柔軟な構成を利用して、半導体ウェーハの転送、整列、およびロードのプロセスを自動化します。部品には、RCU （Robot Control Unit）、ウェハハンドラ、オフラインエレベータ機器が含まれます。RCUは、ウェーハハンドラの動きを制御し、ウェーハを転送、アライメント、およびローディングプロセスを介してサイクルするために使用される主要な制御システムです。マイクロプロセッサベースのPLC （Programmable Logic Controller）と通信モジュールで構成されています。PLCは、ウェーハハンドラの動作を制御するために使用され、ウェーハトランスファーの位置決め、アライメント、およびローディングなどがあります。通信モジュールは、ロボット制御ユニットとホストコントローラの間でデータを転送するために使用され、プロセス、マシンの状態、およびエラー報告の自動監視を可能にします。ウェーハハンドラは、ウェーハをツールに転送、整列、およびロードするために使用される自動化されたマシンです。各エンドディスク、ロボットアーム、空圧ハンドリングアーム、センサーなど、さまざまなコンポーネントを装備しています。各エンドディスクは、ウェーハをグリップし、ローディングと転送のための位置に移動するために使用されます。その後、ロボットアームを使用してウェーハをターゲット表面と整列させ、ツールにロードします。空気圧式ハンドリングアームは、ウェハハンドラ内のウェハを管理するために使用され、ウェハトランスファーの安全な閉鎖とローディングのための安全なアライメントを確保します。その後、センサーはウェーハとターゲット表面の適切なアライメントを確保し、プロセスを継続的に監視するためのロボット制御ツールへのフィードバックを提供します。ASYST SMIF 300FLは、ツール統合のための高度で簡単にインストールできるオフラインエレベーターアセットも備えています。調節可能なエレベータープラットフォームと真空アダプタを備えており、ツールモデルとのシームレスで効率的な統合を可能にします。エレベーターは縦のローディングおよび荷を降ろす装置を上下に動かし、位置からの水平移動システムを動かすために容易にプログラムすることができます最高の柔軟性および多くの用具と統合する便利な方法を提供します。SMIF 300 FLウェーハハンドラは、半導体ウェーハを高効率で正確に転送、整列、およびロードすることができます。幅広いコンポーネントと高度で設置しやすいオフラインエレベーターユニットにより、ほぼすべての工作機械に簡単に組み込むことができ、半導体ウェーハ処理の複雑な要求に最適です。