中古 ASYST SMIF-300FL #293641735 を販売中

ASYST SMIF-300FLは、半導体製造施設における200mmおよび300mm径のウェーハの搬送と積載を容易にするように設計された、完全に自動化されたウェーハハンドラです。ウエハピッチ精度0。04mmで、1時間あたり最大1,200個のウエハを処理できます。ASYST SMIF 300FLには、最大限のウェーハ保護と安全性を確保するための高度な機能が多数搭載されています。それに滑らかなローディングおよび荷を下す操作を提供し、衝撃を避け、正確さを保障する低力ロボットアームがあります。ロボットアームには、ローディングまたはアンロード処理に従事する前に、ウェーハの存在、層の数、およびその寸法を検出する特別なセンサーが装備されています。SMIF 300 FLはまた、輸送中にウェーハの完全性を保証する堅牢で信頼性の高いウェーハクランプ装置を備えています。さらに、静電気防止制御システム、コンタミネーションシールド、エラーアラームユニットを備えています。ASYST SMIF 300 FLはウェーハの容易なローディングおよび荷を下すことを可能にします。英語のタッチスクリーンインターフェースで設計されており、効率的なウェハローディングとアンロード操作を可能にします。SMIF 300FLには、ウェーハIDの識別と追跡のためのバーコードリーダー技術も搭載されています。さらに、PC通信や制御のための接続インターフェイスを備え、複数のウェーハ処理システムの動作と監視を複製します。SMIF-300FLは、効率的で信頼性の高いウェーハハンドリングソリューションを提供できる革新的な機械です。ウェーハの保護と安全性を最大限に保ちながら、高品質と高性能を実現します。低力ロボットアーム、高精度、堅牢なウェーハクランプツール、帯電防止制御、コンタミネーションシールド、エラーアラームアセット、PC通信インターフェイスを備え、最も信頼できるウェーハハンドリングソリューションの1つです。