中古 ASYST SMIF-300FL #121297 を販売中

ASYST SMIF-300FLウェーハハンドラは、半導体産業で使用される集積回路の生産に使用される、完全に自動化された、コンパクトで信頼性の高い機器です。特殊プロセスチャンバーとウェーハロードポート間のウェーハの移動を容易にするように設計されています。ASYST SMIF 300FLには、1つのカプセル化されたアーム、2つのリニアアクチュエータ、3つのボトムプレート、3軸ウェッジツールチャックを含む6軸ロボットアームが装備されています。リニアアクチュエータは、X、 Y、 Z方向の+/-0。003mmの精度で正確な動きと制御を提供します。ロボットアームの有効範囲は300mmで、最大積載量は6kgです。3枚のボトムプレートは、操作サイクルごとに最大6枚のウェーハを簡単に転送および保持するために、穏やかで安全なボトムサーフェスを提供します。3軸チャックは、小型で繊細なウェーハやその他の基板をスムーズに取り外し、搬送して配置することができ、温度は20〜40°Cの間で維持できます。SMIF 300 FLは、リモートレシピ制御、拡張性、および複数のプロセスチャンバー接続オプションにより、プロセスの柔軟性を強化しています。堅牢な制御に加えて、ASYST SMIF 300 FLには、比類のない操作のシンプルさを提供するオールインワン統合ソリューション、および安全機能と保護対策の完全なスペクトルが含まれています。このシステムは、安全な操作と信頼性の高いプロセス制御のために、Windowsベースの5レベルの安全アーキテクチャを使用しています。このアーキテクチャは、潜在的な安全上の懸念の検出と、プロセス汚染につながる可能性のある操作またはユニットの故障の防止を保証します。さらに、SMIF 300FLは直感的なユーザーインターフェイス、強力で直感的なプログラマブルロジックコントローラ、タッチスクリーン機能、クリーニング、PVD、 CVD、リソグラフィなどの幅広いプロセス用のカスタムメイドプロセス統合パッケージを備えています。コントローラのオープンアーキテクチャは、柔軟な導入、ソフトウェアの拡張性、堅牢な生産性を提供します。SMIF-300FLは容易なアクセスおよび維持のために設計されています、それは容易に改善を取付けるか、または部品を取り替えるために作ります。これらの機能はすべて、ウェーハハンドリングマシンを新しい高みへと進化させ、半導体業界にとって無敵の選択肢となりました。結論として、ASYST SMIF-300FLは半導体業界におけるウェーハ処理において信頼性が高く強力な選択肢です。ASYST SMIF 300FLは、6軸ロボットアーム、3軸チャック、堅牢な安全アーキテクチャ、直感的なユーザーインターフェース、プロセス統合パッケージを備え、効率的で費用対効果の高いウェーハ搬送とプロセス・ソリューションを提供します。