中古 ASYST SMIF 300 WMS #162781 を販売中

ASYST SMIF 300 WMS（ウェーハマネジメントシステム）は、直径300mmまでのウェーハに対応するように設計された、高精度、モジュール式で費用対効果の高いウェーハハンドリングシステムです。半導体、データストレージ、MEMS、太陽光発電など、さまざまな業界のフロントエンドおよびバックエンドのウェーハ処理アプリケーションに最適です。SMIF 300 WMSは、1つのメインシャーシ、コントローラ、およびシャーシ内に搭載された複数のモジュールで構成されています。メインシャーシには、シーメンス互換の電源、配電ボード、取り外し可能なバックプレーン、および追加モジュール用の複数の取り付けプレートが含まれています。コントローラには、ユーザー操作を容易にするタッチ感受性入力デバイスが含まれています。ASYST SMIF 300 WMSのウェーハ処理機能は、いくつかのモジュールを介して提供されます。ウェーハトランスファーモジュール（WTM）は、さまざまな動作段階の間でウェーハディスクを正確に移動させるために使用されます。3-Axis自動位置決め（3AX）モジュールは立体的な位置決め機能を提供し、リモートセンサツール（RST）モジュールはバーコードリーダとレーザースキャナの使用をサポートします。真空制御モジュール（VCM）は、圧力制御と真空制御の両方の機能を提供します。SMIF 300 WMSは信頼できるデータおよび製品品質を保障するために高精度および再現性と設計されています。そのモジュラー構造は、カスタム構成が特定の顧客の要件を満たすことを可能にします。さらに、独自のインターフェースにより、既存のシステムとの統合が簡単かつ簡単になります。ASYST SMIF 300 WMSの堅牢な設計により、過酷な環境での信頼性の高い動作が可能です。CE EMC、 CE LVD、およびIEC 61000-4-2の安全要件に準拠しており、UL、 CE、およびC-Tick認証を取得しています。このシステムは、モジュラー構造と独立した診断機能のためのLCDにより、メンテナンスとトラブルシューティングが容易です。SMIF 300 WMSは、優れた柔軟性とスループットを提供する最先端のウェーハハンドラです。高精度の機能、モジュール構造、独自のインタフェースにより、ASYST SMIF 300 WMSは、正確で信頼性の高いウェーハ処理を必要とするアプリケーションに最適です。