中古 ASYST SFS 01CS #9301742 を販売中

ASYST SFS 01CSは半導体産業のプロセスおよび生産装置で使用される高度のウエハハンドラです。半導体チップ製造プロセスにおけるウェーハの高速かつ正確な移動を提供するように設計されています。SFSは手動操作と自動操作の両方に使用でき、アセンブリ、テスト、パッケージング、クリーニングなどのさまざまなアプリケーションをサポートするように設計されています。SFSは、広範囲の角度を可能にする柔軟なチルト装置設計を備えており、異なるサイズと厚さのウェーハを処理することができます。また、最小の力と最小のエネルギー消費で動作するだけでなく、ウェーハの損傷を防ぐ低摩擦設計を備えています。ハンドラーは、インターロックやESD保護などの高度な監視および安全システムと統合されるように設計されています。SFSは、CCDビジョン、デュアルカメラセンシング、ダイレクトドライブ移動、内蔵コントローラなどの最適な動作を保証するために、さまざまな機能を使用しています。最大8インチウェーハをサポートし、最大30cms/secの速度で移動できる150 x 150mmのハンドリングエリアを備えています。さらに、数秒で正確なアライメントを保証する3次元マイクロビジョンアライメントナビゲーションシステムを搭載しています。さらに、SFSにはウェーハローディングとアンローディングユニットがあり、ウェーハトレイのレベルを調整します。これにより、ウェーハのローディング速度が最大15ウェーハ/秒に達することができます。統合されたスキャナとセンサーは、各ウェハを自動認識し、プロセスパラメータを自動調整することで動作性能を最適化します。SFSは、2インチから8インチ、0。3mmから4mmの幅広いウェーハに対応するように設計されています。同時移動を可能にし、ウェーハの損傷を防ぐトルク制御装置を備えています。ウェーハは密閉されたハウジングの中に真空密封された方法で運ばれ、不要な粒子汚染を最小限に抑えます。結論として、SFS 01CSは、半導体チップ製造プロセスにおける迅速で正確かつ費用対効果の高い製造のために設計された先進的なウェハハンドラです。CCDカメラビジョン、ダイレクトドライブ移動、デュアルカメラセンシング、トルク制御、プロセスパラメータの自己調整など、幅広い機能を備えています。SFSには、粒子の汚染を防ぎ、ウェーハの正確な取り扱いを保証する封止ハウジングも装備しています。