中古 ASYST SES 01CS #9301741 を販売中

ASYST SES 01CSはASYST Technologiesが開発した半導体ウェーハハンドラです。その主な目的は、製造中にウェーハを処理することであり、あるプロセスから別のプロセスへの安全な移行を可能にします。SES 01CSは、あらゆるウェーハ処理ニーズに最適な幅広い機能を提供します。ASYST SES 01CSの中心には、Advanced Scanner/Controller （ASC）機器があります。ASCは、ステーションからステーションへのウェーハ転送中にウェーハの動きを監視および制御する責任があります。これは、光学イメージングシステムを使用して、各ウェーハの詳細な画像をキャプチャすることによって達成されます。これにより、SES 01CSは、ユニットを移動する際にそれらを正確に配置し、追跡することができます。ASCマシンに加えて、ASYST SES 01CSには自動ウェーハハンドリングツールが装備されています。このアセットにより、ウェーハを1回の操作でフロントポートからモデルにロードおよびアンロードすることができます。これにより、従来の手動ウェーハ処理よりも時間と労力を節約できます。この装置は、ウェーハ移動に標準または高温トランスファーチャンバーを使用するように構成することができます。SES 01CSには、ウェーハの混乱を防ぐためのいくつかの安全機能が含まれています。例えば、このシステムには、チャンバー内部の圧力を監視する空気圧ユニットが装備されています。圧力が設定値を下回ると機械が自動的にシャットダウンし、ウェーハの損傷を防ぎます。このツールには、ウェーハがセット圧力なしで転送されるのを防ぐトランスファチャンバーの動きのためのロック機構も含まれています。最後に、ASYST SES 01CSには、ウェハハンドラがWebブラウザを使用して任意の場所からモデルにアクセスできるリモート監視アセットが装備されています。装置はまた、システムがスムーズに動作していることを確認するのに役立ちますパフォーマンスデータのリアルタイム分析とレポートを提供します。全体として、SES 01CSは強力で信頼性の高いウェハハンドラであり、従来のウェハハンドリング方法よりも大きな利点を提供します。そのユニークなデザインは、高度な機能と高いレベルの安全性を提供しますが、オペレータはどこからでも簡単にユニットを制御および監視することができます。