中古 ASYST SBB 01CS #9301739 を販売中

ASYST SBB 01CSは、さまざまな半導体処理環境に適した包括的で効率的なウェーハ処理装置です。オープンアーキテクチャと自動化された操作を利用して、ウェーハの要件に対応します。このシステムは、最大6つの全長200mmおよび4つの部分長150mmウェーハの正確で信頼性の高い材料処理を提供するように設計されており、既存のロボットまたは機械システムに容易に統合できます。SBB 01CSは、デュアルウェーハシャトルユニットを使用して、効率的かつ正確にウェーハを処理および転送します。この機械は2つの主要な上部ローダー間のウェーハの容易な動きを可能にします。また、ウェーハキャリアをあらゆる方向に確実かつ再現性のある材料処理を保証する精密な静電クランプ機構を採用しています。このツールには交換ステーションも含まれており、選択したウェーハが配置され、目的のステーションに転送されます。この資産には、装置の性能を監視し、発生する可能性のある問題を検出するための自動自己診断モデルも含まれています。この自己診断システムは、モニター、コントローラ、センサーなど、ユニットの最大25の重要なパラメータを診断できます。さらに、このマシンには温度モニターとガスパージモニターが搭載されており、正確なウェハ温度、湿度、およびガスレベルを維持および監視することができます。ASYST SBB 01CSは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）も備えており、ツールを簡単に操作できます。GUIは完全な資産管理を提供し、ユーザーはモデル操作を監視、制御、カスタマイズすることができます。また、プロンプト機能も備えており、ユーザーは機器設定をすばやく調整してウェーハ処理プロセスを最適化することができます。最後に、SBB 01CSにはオプションのアクセサリーも揃っており、汎用性が高く効率的なシステムとなっています。これらのアクセサリーには、空冷システム、オートローダー、照明システム、ビジョンシステムなどがありますが、これらに限定されません。ASYST SBB 01CSは、半導体処理環境に有効かつ効率的なウェーハ処理ユニットです。オープンアーキテクチャと自動化された操作により、既存のロボットまたは機械システムに簡単に統合できます。さらに、自己診断機、温度モニター、ガス除去モニター、グラフィカルユーザーインターフェイスなどの高度な機能により、高度にカスタマイズ可能なツールとなっています。さらに、さまざまなアクセサリは、ウェーハ処理プロセスに無限の可能性を提供し、システムがすべての処理ニーズに対して正確で信頼性の高いものであることを保証します。