中古 ASYST SAS 01CS #9301743 を販売中

ASYST SAS 01CSは、ミニチュア半導体製造におけるバックエンド・プロセス統合用に設計されたマルチプラットフォームウェハハンドリング装置です。システムは完全なカスタマイズのために造られ、顧客の必要性に基づいてプロダクトを構成し、再構成する柔軟性を提供します。SAS 01CSは、アプリケーションコントローラ、メディアボックス、およびロボットの3つのコアコンポーネントで構成されています。これは、同社のモーションシーケンシング技術に基づいており、より高い精度と生産性でインテリジェントウェーハハンドリングソリューションを提供することができます。アプリケーションコントローラは機械の中心であり、ロボット活動のインテリジェンスと制御を提供します。ロボット言語やラダーロジックなど、さまざまなプログラミング言語をサポートしています。精度とプロセスの信頼性を高める可変速度ツール、ロボット操作を最適化するための柔軟性の高いスケジューリングアセットなど、多くの機能が組み込まれています。Media Boxコンポーネントは、カセットと基板の保管と配送に使用されます。カセットと基板を正確に配置し、ウェーハポケットの配列に配置するための4方向ロケータを備えています。Robofoxおよびカセットレス基板処理をサポートできます。ASYST SAS 01CS Robotは精密な反復可能な動きを行うように設計されている6軸ロボットアームです。精密ボールねじ駆動モデルにより、高速で柔軟な動きを実現します。モーションコントロールは、加速/減速制御の2軸によって支援されます。このロボットには、さまざまなウェーハサイズや設計に対応する複数のツールチェンジャーと、さまざまなデバイス検出器が装備されています。SAS 01CSは、24時間365日の動的プロセス環境で使用するために設計された、信頼性の高いウェハハンドラです。高い生産性、高精度、多様な半導体プロセスとの互換性、ユーザーフレンドリーな設計により、半導体ファブに最適です。