中古 ASYST R150 9701 4314-01 #143140 を販売中

ASYST R150 9701 4314-01ウェーハハンドラは、半導体製造機械のウェーハの転送、送り、および処理を行うために設計されたオートメーションコンポーネントです。基板などの金型から半導体ウェーハを正確に配置、除去するために必要な動きを提供する回転テーブルシステムを備えています。直立したフレームは、1対のリニアレールと4台のサーボ駆動リニアアクチュエータをサポートしています。この配置は、信頼性の高い正確な二列角をウェーハに伝達します。伝達されたウェーハの角度は0。5度の決断の90度以内に調節可能です。R150は直感的な手持ち型のティーチングペンダントによって制御されます。ティーチングペンダントには、さまざまなパラメータとデータアクセスツールを備えたユーザーインターフェイスがあります。R150ウェーハハンドラの機能には、ウェーハアライメント、ウェーハの回転と反転、ウェーハの調整などがあります。動きとフィードバックの組み合わせにより、微細な解像度で正確な位置決めを実現します。R150はまた、リニアアクチュエータのフィードバックを利用します。すべてのリニアアクチュエータは、1ミクロン分解能で位置フィードバックデータを提供します。この高度なフィードバックにより、さまざまなウエハサイズと形状の正確なアライメントが可能になります。R150は10°Cから40°Cまでの温度および20％から80％まで及ぶ相対湿度の周囲環境で作動させることができます。ステンレスフレームは頑丈な部品で構成されており、半導体の生産ラインなど、幅広い粉塵や腐食環境での耐久性に適しています。R150ウェーハハンドラの全体的な設計により、スムーズな動作が保証され、すべてのウェーハが確実に所定の位置に保たれ、移動または転送による潜在的な損傷を防ぎます。その結果、大量の半導体製造プロセスにおいて信頼性の高いソリューションとなります。