中古 ASYST / PST SPARTAN #9407144 を販売中

ASYST/PST SPARTANは、効率を高め、半導体デバイス生産のダウンタイムを最小限に抑えるように設計されたウェーハハンドリング装置です。ウェーハの安全な取り扱いを保証し、常に品質を維持します。このシステムは、生産ライン内の複数のツールで動作するように構成することができ、各ロボットがツール間でウェーハを正確に把握、持ち運び、転送することができます。PST SPARTANにはビジョンユニットが内蔵されており、ウェーハをツールの場所に識別、選択、配置するための検索アルゴリズムをロードします。これにより、手動のピックおよびプレス操作よりも高い精度と再現性が得られます。本機は、内部真空モジュール、モーションコントローラ、IOインターフェースを搭載しており、顎の中のウエハの存在を正確に感知することができます。これにより、デリケートなウェーハを詰め込んだり傷つけたりする可能性がなくなります。このツールはまた、高速動作を可能にする高度な制御アルゴリズムを利用しています。これには、加速と減速のランピング、モーションジャークの制限、およびモーションスムージングが含まれます。これにより、アセットは必要な場所にのみ移動し、ウェーハの損傷の可能性を低減します。ASYST SPARTANウェーハハンドリングモデルには、人工知能（AI）機能も搭載しています。これにより、さまざまな種類のウェーハを自動的に認識して調整することができ、種類に関係なく正しい処理が保証されます。これにより、さまざまな種類のウェーハを処理するための手動介入や機器の広範なプログラミングが不要になります。さらに、ERPユニットやオートメーションソフトウェアなどのコンピュータソフトウェアと簡単に接続できます。これにより、中央制御ステーションは生産サイクル全体を電子的に追跡および監視することができ、すべての作業が期待されるパラメータ内にあることを保証します。全体として、SPARTANウェーハハンドリングマシンは、製造コストを削減し、半導体デバイスの生産効率を向上させるように設計されています。耐久性の高い設計、高度なAI機能、プロセスのパフォーマンスを追跡および監視する機能により、ウェーハは精度と品質で処理されます。