中古 ASYST / PST SPARTAN #9386363 を販売中

ASYST/PST SPARTANは、自動および手動のウェハハンドリングアプリケーションに役立つように設計されたウェハハンドラです。この装置は、プロセスを容易にするためにロボットや他のコンポーネントの配列が装備されています。ウェーハピック&プレイス、ウェーハボンディング、ウェーハトランスファー、ウェーハシンギュレーションなどのプロセスに使用できます。自動化されたウェーハハンドリングシステムは、スカラロボット、X-Yカルテシアロボット、デルタロボットの3種類のロボットを備えています。これらはそれぞれ高度な制御技術を備えており、直径200ミリメートルまでの数百のウェーハを処理することができます。スカラロボットは複数のウエハを同時に持ち運ぶことができ、X-Yカートシアンのロボットは微調整が可能で、加工中のウエハの正確な位置決めが可能です。デルタロボットは汎用性の高いロボットで、さまざまなプロセスに対応できます。このユニットには、3台のCCDカメラを備えたビジョンマシンと、オブジェクトを検出するための照明ツールも含まれています。これにより、基板上のパターンや形状を認識し、さまざまなウェーハを識別することができます。また、自動ウェーハハンドリングモデルのバックボーンとしても機能します。このビジョン装置は、下流プロセスへのハンドオフ前にウェーハ上の欠陥レベルを評価することができます。ロボットやビジョンシステムに加え、各種センシング機能やセンサーも搭載しています。赤外線センサーやレーザーセンサー、圧力センサーなどがあります。センシング機能は、ユニット内のロボットやその他のコンポーネントに関するウェーハの位置に関するオペレータへのフィードバックを提供するために使用されます。これは、ウェーハを取り扱う際の精度と効率を確保するために行われます。また、自動ウェハハンドリングマシンは、ウェハの配置と処理ユニットを備えています。このユニットには、調整可能な基板クランプと、ウェーハを正確に移動および保持するためのリニアマイクロアクチュエータが含まれています。また、信号を検出してツールの動作を制御するためのマイクロスイッチや他の回路ベースのコンポーネントもあります。事実、PST SPARTANは完全に自動化された信頼性の高いウェーハハンドリングアセットです。このモデルは適用範囲が広く、顧客の特定の必要性を満たすためにカスタマイズすることができます。ウェーハ搬送などの加工において、高精度で信頼性の高い結果を提供するように設計されています。この装置は、包括的な安全機能を備えており、自動ウェーハ処理のための完全なソリューションを提供しています。