中古 ASYST / PST SPARTAN #9296848 を販売中

ASYST/PST SPARTANは、一度に最大85個のウェーハを輸送および処理するように設計されたロボットウェーハハンドラです。ロボットは、ウェハコンベア、ハンドラー、搬送装置の3つの独立したコンポーネントで構成されています。コンベアは、ウェハを入力位置からハンドラに移動します。ハンドラーはウェーハをピックアップして転送システムに転送し、出力位置に転送します。出力位置は、LS220またはAS8600コントローラ、またはEDAプラットフォームにすることができます。PST SPARTANハンドラーは、ウェーハを保持するためにバイススタイルのエンジニアリングを使用します。バイススタイルのエンジニアリングには、ウェーハを輸送中に保持するために使用される調整可能な指があります。トランスファーユニットは4つのアームで構成されています。アームはウェーハをハンドラとの間で移動させ、搬送中もウェーハが確実に保たれるようにします。ASYST SPARTANは、直径8インチまでのウェーハをサポートできます。このハンドラは、カスタマイズされたツーリングおよびウェハテストプログラムを実行するようにプログラムすることもできます。SPARTANにはオープンアーキテクチャのコンピュータが付属しており、ユーザーはプロセスのニーズに合わせてさまざまなプログラミングを変更することができます。ハードウェアに加えて、ASYST/PST SPARTANには、ハンドラのプログラミングを比較的簡単にする直感的なソフトウェアインターフェイスが装備されています。ソフトウェアには、一般的に使用されるツーリングとプログラムのライブラリと、ツーリングとプログラムをカスタマイズするためのツーリングエディタが含まれています。このソフトウェアは、診断グラフィックスとオンラインヘルプマシンも備えています。PST SPARTANは非常に信頼性が高く、自己診断ツールとハンドラーの円滑な動作を確保するための自動回復ルーチンを備えています。ASYST SPARTANは3年間の保証を備えており、低消費電力で効率を高めています。SPARTANは、ウェーハの大量かつ効率的な輸送と加工に最適です。