中古 ASYST / PST SPARTAN #9255878 を販売中

ASYST/PST SPARTANは高度なウエハハンドリング装置で、高密度で高速に変化するウエハアセンブリと電子テストのための自動化された信頼性の高いソリューションを提供するように設計されています。モジュラープラットフォームには、多軸ウェーハローダー、セグメント化されたウェーハステージ、自動化されたウェーハプロセッサ、多軸ウェーハアンローダという4つのコンポーネントが内蔵されています。多軸ウェーハローダーを使用して、組み立てプロセスのウェーハを準備します。ラウンドトラジェクトリ内のデュアル単軸ハンドリングアームと、ウェーハの位置への正確で信頼性の高いローディングに直接接続するロボットアームのリニアアームを備えています。これにより、ユーザーは正確な制御を行い、ウェーハの読み込みステップを強化することができ、プロセス効率を向上させることができます。セグメント化されたウェーハステージにより、ウェーハをバッチ単位で処理し、連続的なプロセスを形成することができます。複数のウェーハを並列処理できるため、高いスループットを実現します。ウェーハは、ウェーハ段に埋め込まれた空気圧シリンダを使用して、さまざまな圧力で自動的に配置されます。ウェーハは、同じプラットフォーム上で固定されたまま、可変レートで処理されます。自動化されたウェーハプロセッサはシステムの不可欠な部分であり、ユーザーは目的のプロセスパラメータを構成することができます。これは、複数のタスクを実行できる高度で構成可能なロボットアームで構成されています。ロボットアームは、統合制御ユニットを介して制御され、ウェーハ上で複雑なEテストおよび組立作業を実行することができます。最後に、多軸ウェーハアンローダーは、処理されたウェーハを他の宛先に再割り当てするのに役立ちます。このコンポーネントは、ダイピッキング、ソート、再潤滑など、さまざまなウエハハンドリング操作をサポートすることができます。また、ローダーモジュールへの加工ウェーハの再ロードを容易にするウェーハピックアップや、加工精度を高めるビジョンマシンを装備しています。結論として、PST SPARTANは複雑なアセンブリおよびEテスト操作を実行できる高度で信頼性の高いウェーハハンドリングツールです。4つの主要コンポーネントを収容するモジュラープラットフォーム、多軸ウェーハローダー、セグメント化されたウェーハステージ、自動化されたウェーハプロセッサ、多軸ウェーハアンローダを内蔵しています。それぞれが特定のタスクのために最適化されています。高度な設計ソリューションと統合制御システムを通じて、ASYST SPARTANは高密度で急速に変化するアセンブリおよびテストのニーズに対応する信頼性の高い自動化ソリューションを提供します。