中古 ASYST / PST SPARTAN #9254166 を販売中

ASYST/PST SPARTANは、半導体製造プロセスを自動化する高性能ウエハハンドラです。半導体製造、試験、組立ライン向けに設計された汎用ウェーハハンドリングロボットで、ウェーハ、サイコロ、その他の部品の取り扱いに使用されます。PST SPARTANは、メインフレーム、ウェハピック/プレイタレット、オープンカセットインターフェイス（OCI）、オープンチューブインターフェイス（OTI）、スタンドアロンチャンバーインターフェイス（SACI）、アームインターフェイス（AIA）、アームドライブ（AI）メインフレームは、ピック/プレイス砲塔と5軸ロボットアームを内蔵したメタルフレームで構成されています。ウェーハピック/プレイス砲塔は、さまざまなウェーハジオメトリと直径を処理する3つのチャンバーインターフェイス、OCI、 OTI、およびSACIで構成されています。5軸ロボットアームは、250mm/秒の横断が可能な精密制御されたX-Y-Z位置決めステージを備えています。独自のZ摩擦駆動と直感的なモーションコントロールに加えて、ロボットアームは+/-25ミクロン以下の精度で高精度のピック/プレス移動を行うことができます。Arm Interface （AIA）は、ロボットアームをメインフレームに接続し、ロボットアームを動かすために必要な制御信号を提供します。アームドライブ（ADG）は、正確で反復可能なモーションコントロールを提供することができるコンパクトモータマイクロメータードライブです。サブアセンブリ（SA）は、ウエハピックとタレットのインターフェースと制御に使用されます。ウエハハンドリングロボットの生産を可能にする一連の電子基板とコンポーネントで構成されています。ASYST SPARTANには、パターン改善、オートキャリブレータ、ステップアナライザ、リアルタイムモーションコントローラなどのさまざまなソフトウェアアプリケーションを含むソフトウェアスイートも含まれています。Windowsベースのシステムにより、オペレータはウェーハハンドリングシステムを迅速かつ簡単に構成および制御し、ユニットのパフォーマンスを監視および評価することができます。SPARTANは、半導体製造、試験、組立ラインでウェーハやその他の部品を取り扱うための信頼性と柔軟性の高いソリューションを提供します。インテリジェントコントロールマシンと正確なモーション機能を備えたASYST/PST SPARTANは、あらゆる半導体業界に理想的な選択肢です。