中古 ASYST / PST SPARTAN #9247586 を販売中

ASYST/PST SPARTANは、半導体業界向けに設計された高性能ウエハハンドラです。半導体ウェーハを正確に移動、回転、搬送するために設計された自動ウェーハ搬送装置で、損傷を最小限に抑え、トータルハンドリング時間を短縮します。PST SPARTANウエハハンドラは、最大12個のウエハーを搭載し、1つのプロセスステーションから別のプロセスステーションにピンポイント精度で移動することができます。ウェハトランスポートシステムは、2つのステージを使用し、ウェハーを両方のレベルから同時にピックアップして移動することができます。ウェーハの動きはブラシレスリニアサーボ技術の使用に基づいており、高精度、信頼性、ジャークなしの位置決めを提供します。また、ウェーハ方向のX、 Y、 R軸で正確かつ反復可能な動きを保証するエンコーダユニットを採用しています。ASYST SPARTANは、その寿命にわたって事実上メンテナンスフリーで信頼性が高いように設計されています。ウェーハバブルやエッジチップを検出し、ハンドラーがそのウェーハを拾うのを防ぐ堅牢なスキャン機で簡単にインストールできます。ウェハハンドラには、複雑なレシピを迅速に実行するための迅速なジョブ設定と柔軟なプログラミングのためのソフトウェアがあります。SPARTANウェーハハンドラは、静電気や傷からウェーハを保護するための帯電防止、傷に強いシールドを備えています。さらに、ハウジングは、周囲の環境からの粉塵やその他の破片がウェーハ表面に引き寄せられないように設計されており、寿命が延びています。内蔵のフォールトトレラントツールは、問題が発生したときに特定、分析、解決することができ、最高レベルのパフォーマンスとエラーのない動作を保証します。また、ユーザーフレンドリーなコントロールと色分けされたタッチスクリーンが含まれており、簡単にアクセスできます。ASYST/PST SPARTANウェーハハンドラは、人手を排除し、半導体産業の生産性を向上させるように設計されています。これは、ウェーハの搬送と処理のための堅牢で信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションです。PST SPARTANウエハハンドラは、高精度、メンテナンス要件の低減、直感的なユーザーインターフェースにより、半導体業界の多くの生産およびラボプロセスに最適なソリューションです。