中古 ASYST / PST SPARTAN #9231864 を販売中

ASYST/PST SPARTANは、メーカーのオートメーション（M/A）要件向けに設計された最先端のウェハハンドラです。この装置は、高いスループットとパフォーマンスを備えた、非常にターゲットを絞った制御された製造自動化のために設計されています。PST SPARTANは、調整可能なリニアマニュアルローダーから始まる4段階のハンドリングシステムを備えています。この機能により、ウェーハを線形ステージに正確に配置できます。ウェーハをステージ上に配置した後、精密ピック&プレス機能に転送します。この機能により、ユーザーは自動的にウェーハを指定された転送プレートにピックアップして搬送し、正確に配置することができます。ウェーハがトランスファープレートに装着されると、ASYST SPARTANのクラムシェルタイプの屋根は安全で安全な次の駅への移動を保証します。クラムシェル屋根はまた、環境汚染からデバイスを保護するのに役立ちます。単位の第3段階はプロセスサイクルです。この段階では、非同期PLC（プログラマブルロジックコントローラ）を使用して処理サイクルを設計し、データ取得とウェハの向きを指示します。このサイクルは、ウェーハの動きの速度と位置など、ウェーハの状態に関する情報を提供するProViewマシンによって制御および監視されます。最終段階はトレイベースのアンローディングツールです。これにより、ユーザーは自動的にウェーハをピックアップし、輸送し、指定されたアンロードトレイに設定することができます。サイクルが完了すると、LEDディスプレイはサイクルの正常な完了を示します。SPARTANは、制御された転送方向と精度で、さまざまなウエハータイプとサイズを処理することができます。このアセットは、クラムシェル屋根、ProViewモデル、リニアマニュアルローダー、調整可能なトレイベースのアンロードなどの革新的な機能を備え、クリーンで汚染のない環境を確保します。高レベルの精度とパフォーマンスにより、ASYST/PST SPARTANは、高速で効率的で正確なオートメーションに最適なツールです。