中古 ASYST / PST SPARTAN #9224855 を販売中

ASYST/PST SPARTANは、半導体ウェーハの製造工程で使用されるウェーハハンドラです。これは、正確かつ正確なピックと場所の動きを必要とする半導体加工装置の範囲で使用されています。PST SPARTANは高速動作用に設計されており、直径4〜9インチのさまざまなウエハサイズに対応できます。また、3インチから12インチまでのウェーハ径の範囲を扱うことができます。ASYST SPARTANは、真空グリップ機構を使用して、長距離での正確なピックと配置の動きを実現します。SPARTANは高度に自動化されており、カスタムオペレーションニーズのための幅広い構成オプションを備えています。それは多くの交換可能な部品との標準化のために設計されています。これにより、実行中に複数のジョブを簡単かつ迅速に切り替えることができます。ASYST/PST SPARTANは、事前定義された操作と構成で事前にプログラムすることができ、セットアップ時間を短縮し、プロセスを最適化することができます。これは、ほぼ正確な故障のないヒット率と差別化されたピックと場所の動きの機能を備えています。PST SPARTANには、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）とグラフィカルプログラミング言語（GPL）が付属しています。これにより、ユーザーは最小限の労力で機器を迅速かつ簡単にセットアップおよび構成することができます。ASYST SPARTANは過酷な環境で動作するように設計されており、信頼性の高い動作を保証するための多くの機能が含まれています。温度制御された環境、デュアル真空チェックバルブ、リジェクトトレイ、耐食部品を備えています。SPARTANはまた、環境制御システム、ロボット、およびその他のサポートサブシステムとのインタフェースに複数のオプションを提供する周辺システムを内蔵しています。安全性は、リスク管理機能を組み込んだASYST/PST SPARTANに組み込まれています。直感的なユーザーインターフェイス、過熱監視ユニット、負荷安全センサー、およびマシンベースの通信が含まれています。これらの機能は、マシンが安全で準拠した方法で動作することを保証します。PST SPARTANは、高速、正確、信頼性の高い動作を提供する高効率のウエハハンドラです。その特徴と機能は、あらゆる半導体製造操作に最適です。