中古 ASYST / PST SPARTAN #293798452 を販売中

ASYST/PST SPARTANは、Pacific Technical Products社が開発した半導体ウェーハの自動処理に使用されるウェーハハンドラです。PST SPARTANは、ラピッドプロダクションおよびプロトタイピングエリア、およびラボアプリケーションでの使用に適した汎用性の高いツールです。ASYST SPARTANは、200mmおよび300mmウェーハ、および複数のカセット、カセットレスアプリケーション、FOUPを扱うように設計されています。フロント開口部のユニファイドポッド（FOUP）収納ボックスにウェーハを転送するトップローディングロボットを備えています。また、自動ローディングステーションを備えており、ウェーハをカセットから直接ロボットにロードすることができます。SPARTANはまた、統合されたロボットハンドリングシステムと様々なアプリケーションに合わせて適応できるモジュラー設計を備えています。それは5つの独立した操作モードを含んでいます：単一のウエファー、バルク移動、貯蔵/取り出し、スキャン/並べ替えおよび用具への移動。シングルウェーハモードでは、ウェーハは1つずつ処理され、処理ツールまたはストレージポッド間でロード、事前調整、移動することができます。一括転送モードでは、ロボットは一度に1つの場所から別の場所に5つまでウェーハを転送することができます。このモードは、迅速なスループットまたはプロトタイピングのためのウェーハの迅速な処理に最適です。保存/取得モードにより、ウェーハをストレージスロットに保存し、必要に応じて必要に応じて取得できます。スキャン/ソートモードにより、ウェーハを複数の方向にスキャンしたり、特定の基準に基づいてソートしたりできます。ツール間の転送モードにより、2つ以上の異なる処理ツール間で効率的にウェーハを移動できます。ASYST/PST SPARTANは、Webベースのリモートアクセスを備えたユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）も提供しています。これにより、ユーザーはロボットの進捗状況を簡単に監視し、発生する可能性のある問題のトラブルシューティングを行うことができます。また、GUIは、ウェーハ位置精度とインテリジェントなウェーハ処理統計に関する最新情報も提供します。全体として、PST SPARTANは、半導体ウェーハの自動処理のための信頼性とユーザーフレンドリーなソリューションを提供します。モジュラー設計と複数の動作モードにより、迅速な生産、プロトタイピング、ラボアプリケーションに効率的で汎用性の高いツールを提供します。