中古 ASYST / PST SPARTAN #293766475 を販売中

ASYST / PST SPARTAN
ID: 293766475
EFEM Wafer sorter.
ASYST/PST SPARTANは、自動半導体輸送およびオペレーションに使用されるウェハハンドラです。複数のカセットの取り扱いをサポートするクローズドフレーム設計です。PST SPARTANは、最高速度990mm/s、最小速度75mm/sなど、さまざまなコンベア速度を提供し、幅広い用途に対応しています。また、さまざまなプロセスのニーズを満たすためにさまざまな転送構成があります。ASYST SPARTANの最大の特徴は、直径200mmまでのウェーハに対応できることです。単位はレベルを変えている間過度の加速か減速が避けることを保障する統合された連結のメカニズムと設計されています。SPARTANのクリーンルーム安全設計はまた、最高レベルの安全性と性能を確保するために変性フィルターインターロック、外部照明、振動減衰機能を提供します。その印象的な転送速度と機能に加えて、ASYST/PST SPARTANはまた、オートメーション機能の範囲を提供しています。このシステムは、手動および自動化された操作の両方のために、リモートコンピューティングおよびネットワーク設備コマンド(CNC)で設計されています。また、マシンビジョンタスク、機械制御、プロセス操作、その他の機能を実行することができ、柔軟性と自動化を高めることができます。PST SPARTANはまた、RS232、 RS485、およびイーサネットを含むさまざまな通信プロトコルを提供し、安全で信頼性の高いデータ転送を提供します。このシステムは、モーションエンコーダ、温度センサー、圧力センサーなどのさまざまな内部センシング技術を備えており、幅広い外部入力と出力を提供しています。最後に、ASYST SPARTANは、最適化された制御アーキテクチャとユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスで設計されており、簡単な操作、監視、および調整を可能にします。これは、標準構成とプレミアム構成の両方で利用可能であり、後者はパフォーマンス、安全性、信頼性の向上、および延長保証の適用範囲を提供します。SPARTANウエハハンドラは、幅広い機能を備えており、多くのアプリケーションに優れたオートメーションとスループットを提供します。
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