中古 ASYST / PST SPARTAN #293762279 を販売中

ASYST/PST SPARTANは、半導体ウェーハの転送、取り扱い、およびテストを容易にするように設計された半導体ウェーハハンドラです。ユーザーフレンドリーなデザインと包括的な機能を備えたPST SPARTANは、ウェーハ処理のニーズに最適です。ASYST SPARTANは完全に自動化され、信頼できるように設計されています。ベーキングトレイやデリバリーステーションからウェーハを取り出し、目的地に移動するロボットアームの高速で滑らかな動きが操作の核となっています。ロボットアームは、事前にプログラムされたプロファイルに従うようにプログラムされており、複雑な転送とテストを可能にする最大360度の動作を処理できます。汚染のリスクを低減するために、ロボットには粒子抑制システムが装備されています。SPARTANは最大16個のウェーハカセットを取り扱うことができ、それぞれに最大12個のウェーハを収納することができます。各カセットには独自のセンサーが装備されており、スピン速度、圧力、周囲温度、および各カセットの角度の変化により、ウェハの精度が損なわれないようにしています。この高度なセンシング技術は、仕様外のカセットを制限するように設計されています。生産ラインをスムーズかつ効率的に稼働させるために、ASYST/PST SPARTANは、停電やその他のワークフローの中断時にフェイルオーバーすることができます。また、ユーザーの好みに応じて、小規模または大規模なバッチでウェーハを処理するようにプログラムすることもできます。生産速度、歩留まり、レシピ履歴を追跡するために、PST SPARTANは高度なデータ分析ツールを誇り、リアルタイムで簡単に操作を監視することができます。インライン性能に加えて、ASYST SPARTANは予期しないダウンタイムを防ぎ、寿命を延ばすために設計された一連のメンテナンス制御システムも備えています。定期的なメンテナンスリマインダー、自己診断、データバックアップシステムは、SPARTANの効率を最大限に高めるために設計された機能の1つです。ASYST/PST SPARTANウェーハハンドラは、包括的な機能リストを備えており、オートメーションと生産ニーズに最適です。PST SPARTANは、信頼性と一貫したパフォーマンスを提供し、あらゆる半導体生産ラインに最適です。