中古 ASYST / PST SPARTAN #293671321 を販売中

ASYST/PST SPARTANは、自動半導体、フラットパネルディスプレイ、およびその他の先進技術アプリケーション向けに設計された高性能、多機能ウェーハ処理装置です。さまざまなウエハサイズに対応可能で、高速かつ高精度で再現性に優れた先進的な機能を備えています。PST SPARTANは、ホストモジュール、カルーセルモジュール、フロントエンドコンベア、バックエンドコンベアの4つの主要コンポーネントで構成されています。ホストモジュールは、システムの他のモジュール間のオートメーション制御と通信を担当しており、プログラマブルロジックコントローラ（PLC）が含まれています。カルーセルモジュールはウェーハを収納し、一度に最大50個のウェーハを収容することができます。フロントエンドコンベアはウェーハを素早く正確に移動させ、センサーはジャミングの可能性を検出しますが、バックエンドコンベアはウェーハを1時間あたり最大600ウェーハまでアンロードするように設計されています。ASYST SPARTANは、迅速なウェーハ処理を可能にする多くの高度な機能を備えています。統合されたビジョンユニットは、フロントエンドコンベアのリアルタイムのウェハ操作とガイダンスを可能にし、カスタマイズされたビジョン検査は、インプロセス検査と分析のために機械に組み込むことができます。このツールはまた、視覚的および機能的な表面特性評価のためのパススルー型検査を行うことができます。さらに、カルーセルモジュールは、プロセス中にビデオを並列ロードおよびアンロードできるように設計されています。SPARTANの可動部は、滑らかな動きと高い精度を実現するために、リードスクリューと精密なボールスクリューの組み合わせによって駆動されます。高度な冷却資産により、モデル全体が狭い目標温度範囲内で動作し、最適な性能、信頼性、寿命を維持します。ASYST/PST SPARTANは、一度に最大200ウェーハを処理することができる非常に柔軟でスケーラブルな機器です。その複数の高度な機能は、大量の自動半導体、フラットパネルディスプレイ、およびその他の先端技術の生産に最適です。