中古 ASYST / PST SPARTAN #293659688 を販売中

ASYST/PST SPARTANは、幅広いウェハハンドリングアプリケーション向けに設計されたウェハハンドラです。この装置は、直径4〜8インチのウェーハに対応でき、毎秒最大25umの速度で最大1000個のウェーハを処理および処理することができます。PST SPARTANは、正確な位置決めのための正確で繰り返し可能な動きを提供する2組のハンドリングアーム間のウェーハをリンクする「ブリッジ」システムを使用しています。ハンドリングアームはエアシリンダによって駆動され、高速で位置反復性と高効率運転を実現します。ASYST SPARTANは、ウェーハを損傷から保護するいくつかの安全機能を備えています。エアシリンダーは、アームが部品や環境と接触するのを防ぐために、最大動作範囲を超えることはできません。さらに、接触する前に腕の動きを停止することにより、衝突の可能性を検出することができます。また、部品の破壊や変形を検出することができ、ウェーハの取り扱いにおいて信頼性の高い安全な環境となります。SPARTANには、簡単なプログラミングとセットアップを可能にするコントローラとコンピュータインターフェイスが装備されています。コントローラは、最大8セットのアームの位置制御を同時に制御することができ、安全な操作のための内蔵SPCセキュリティツールが含まれています。コンピュータインターフェイスには、緊急時の安全シャットダウン機能も備えています。ブリッジアセットに加えて、ASYST/PST SPARTANには、インライン外観検査用の3インチズームレンズを備えた前面カメラも搭載しています。カメラは光強度と色補正機能を備えており、処理中のサンプルの信頼性の高い検査を可能にします。カメラはまた、過酷な産業照明が利用できない照明条件のためのLED光源を持っています。PST SPARTANは、自己診断と減速部品の検出によりメンテナンスが容易になり、オペレータに可能な問題を警告することができます。モデルに障害が発生した場合、ASYST SPARTANの診断機器の層状アプローチにより、メンテナンスが容易になり、製品寿命が延びます。SPARTANは、その精度と信頼性のためにウェーハ処理アプリケーションの分野で最高の1つです。安全機能、コンピュータインターフェース、前面カメラ、メンテナンスが容易なため、あらゆる生産ラインに理想的なウエハハンドリングシステムです。