中古 ASYST / PST SPARTAN #293652726 を販売中

ASYST/PST SPARTANは、高精度と信頼性を必要とするアプリケーションをサポートするように設計されたウェハハンドラです。PST SPARTANは、ロボット（モータ駆動シャトル）とハンドラー（加工チャンバ、電源、制御、センサー）の2つのバリエーションで利用できます。この製品は、低（<100C）から高（>400C）までの様々なプロセスや温度に適しており、マルチステップウェーハの積み下ろし、ウェーハの選別、ウェーハの裏面洗浄など幅広い機能を備えています。ASYST SPARTANウエハハンドラの設計はコンパクトで効率的です。固定ハンドラベースと、アップグレードとインストールが簡単な柔軟なモジュラー設計を備えています。モジュラーハードウェア設計により、構造の整合性と長期メンテナンスプログラムが可能になり、ウェーハの処理と処理に信頼性の高い安定したプラットフォームを提供します。また、その制御アーキテクチャは、モーション、プロセス、およびセンサーサブシステムの堅牢な統合を提供し、プロセス中に高い精度と再現性を必要とするアプリケーションに適したソリューションです。SPARTANウェーハハンドラは、300mm、 200mmウェーハをはじめとする幅広い基板・サイズ、各種特殊基板に対応しています。金型配置、ピックアップ、ソートなど、さまざまな金型処理に対応しています。これは、真空機器を使用し、ウェハトラベルカルーセルプラットフォームを実装することによって達成されます。このシステムは、シャトル内のウェーハの位置とハンドラ基盤へのフィードバックを高精度で監視するクローズドループ制御ユニットを使用しているため、高精度と信頼性を提供するように設計されています。高度な安全機能により、人員や機器に害を及ぼすリスクを最小限に抑えることができます。これらの安全機能には、リミットスイッチ、e-ストップボタン、および立体位置安全マシンが含まれます。ASYST/PST SPARTANウェーハハンドラは、幅広い用途に対応しており、ウェーハ処理を完全にサポートすることが保証されています。その特徴は、さまざまな基板、サイズ、温度、および再現性の高い精度と信頼性を備えた安定したウェーハ搬送ツールに対応することを可能にします。また、使いやすくセットアップも簡単で、高品質で費用対効果の高いウェハハンドリングシステムをお探しのお客様に最適です。