中古 ASYST / PST SPARTAN #293652724 を販売中

ASYST/PST SPARTANは、半導体製造オペレーションで使用するために設計されたウェハハンドラです。ウェーハの積み降ろし、洗浄、整列、切断など、さまざまな自動化機能を備えています。このデバイスは、手動、半自動、および完全自動モードで使用できます。手動モードでは、ハンドラキャリアアームをワークスペース内の任意の位置に移動できます。ウェーハキャリアはサポートプレートにロックされ、装置は自動的にウェーハを検出し、組立面に対して向きを設定します。大判（300mm）、小判（50mm）、セラミック（セラミック材料）ウェハに対応しています。このシステムは、特別な高速ローダーとアンローダーを使用して、一度に最大3つのウェーハをロードおよびアンロードできます。ローダーとアンローダーを自動化して、ウェーハの向きと間隔を維持しながらスループットを最適化できます。また、ウエハクリーンステーションは、超音波および化学洗浄プロセスを使用して、処理前にウエハから表面汚染物質を除去することができます。ウェーハ表面から粒子を除去するために、炭化水素真空ワンドを採用しています。次に、ウエハを窒素プラズマクリーナーに通し、表面をさらに浄化して処理結果を最適化します。他にも、ハンドラ内のウェーハを正確にアライメントするためのレーザー画像認識、標準形状およびカスタム形状にノッチを切断するためのブレードカッター、ウェーハに圧力をかけるための圧力カムなどがあります。PST SPARTANウェハンドラは、信頼性の高い堅牢な設計で設計されており、信頼性の高い動作を保証します。サポートプレートには最大150個のウェーハを収容できます。また、ウェーハハンドリングエラーを制限するための4ステップセーフティロックユニットも含まれています。また、ウェハハンドラには、レポートやジョブファイルを印刷またはコンピュータにアップロードして追跡および分析することもできます。要約すると、ASYST SPARTANはハイスループット生産オペレーション用に設計された先進的なウェハハンドラです。ウェーハの積み降ろし、洗浄、整列、切断など、さまざまな自動化機能を備えています。また、ウェハクリーンステーション、レーザー画像認識ツール、ブレードカッター、圧力カムを備えた4-Step Safety Lockマシンで構成されています。このデバイスは、大判（300mm）、小判（50mm）、セラミック（セラミック材料）ウェハをサポートすることができ、最も要求の厳しい半導体製造環境で使用するための信頼性の高い安全機能を備えています。