中古 ASYST / PST DP 4200si INX #178997 を販売中
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ASYST/PST DP 4200si INXは、300mmまでのウェーハの転送、真空ピック、プローブ、および分離するように設計された完全に自動化されたウェーハハンドラです。これは、TEL/PST Proberシリーズの半導体試験装置の一部であり、自動半導体デバイス試験に費用対効果の高いソリューションを提供するために開発されました。PST DP 4200si INXは、トランスファーデッキ、プローバ構成、サーボステージを備えたモジュラー設計で、すべて交換可能で拡張性があります。タッチスクリーンインターフェイスと直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を使用して、設定と使用が簡単にできるように設計されています。トランスファーデッキは、独立して駆動されるリニアモータの配列を使用して、最大5m/minの速度で、独立したプローバーデッキ間を素早く正確にウェーハを移動します。最大3つのカセット方向、スタンドアロンコンタクタ、シリコンパレット、NanoSensors用の柔軟なローディングオプションを備えています。プローバーは、精度を最大化し、ダウンタイムを最小限に抑えるために、10独立したモータ制御チャネルを備えた真空ピックトランスファーヘッドを備えています。また、リアルタイムでプローバー性能を監視および調整し、正確なウェーハアライメントを提供するためのin-situモニターシステムも含まれています。また、4軸ウェーハアライメントシステムを搭載し、正確なウェーハ配置を保証します。LEDの照明システムは均質な光源および明確な点検イメージを保証するように設計されています。ASYST DP 4200si INXは、垂直および水平プローブ、空気圧プローブ、手動および自動プローブカードなど、幅広いプロービングプラットフォームと構成を提供します。各プローバーデッキは、生産性を最適化し、個々のテストアプリケーションに対応するために機能的に構成することができます。モジュラー型プラットフォームは、厳しい本番環境に柔軟性と拡張性を提供します。DP 4200si INXは、効率的で信頼性の高い操作と簡単なメンテナンスのために設計されています。サービスおよびメンテナンス活動のためのオプションのリモートサポート、および最大のオペレータ保護のための堅牢な安全スキームが付属しています。さらに、業界標準および確立されたテスト品質ガイドラインに準拠するように設計されています。これにより、半導体業界全体で幅広いウエハハンドリング、プロービング、テスト用途に適しています。
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