中古 ASYST / PST 100 #27562 を販売中

ASYST/PST 100 Wafer Handlerは、自動半導体製造環境において、あるプロセスから別のプロセスに効率的にウェーハを移動するように設計された高速ウェーハ処理装置です。このシステムは、産業用グレードの電動プラットフォーム、ロードポート、ツールフレーム、および電気コントローラで構成されています。モーターを備えたプラットフォームは360度の回転が可能で、ユニットのすべての軸にアクセスできます。プラットフォームでは、ロードポートがツールフレームに接続され、ウェーハを処理するための厳重にシールドされた作業スペースを提供します。電気コントローラは、電動プラットフォーム、ロードポート、およびその他の周辺機器間の自動通信を容易にします。モーター式プラットフォームは、効率的なギアリングを使用して、ある場所から別の場所へ簡単に移動できるウェーハを使用します。一方、ロードポートは、汚染や電気的干渉を防ぐための非常に保護された環境を提供します。プラットフォームは、すべての転送ニーズに対応するために0〜200mm/sの範囲で調整可能な速度を持っています。例えば、高速プロセスのステップがある場合は高速転送が可能であり、微細なプロセスが必要な場合は遅い速度を選択することができます。調整可能な速度機能は、PST 100の重要な要素であり、ユーザーは自分のプロセスにマシンをカスタマイズすることができます。ASYSTのツールフレームPST100、ロッククランプによってプラットフォームに固定され、さまざまなエンドエフェクタデバイス用の標準インターフェイスが含まれています。フレームは調整可能で簡単に設定可能で、複数の位置とデバイスのタイプを可能にします。安全機能も内蔵しており、ウェーハを常に安全かつ安全に取り扱うことができます。さらに、PST100には、電動プラットフォーム、ロードポート、および自動通信を容易にする他の周辺機器と統合する電気コントローラが含まれています。ASYST 100は、ハイスループットウェーハ処理に最適なソリューションです。効率的な速度と調整可能な機能により、あらゆる生産ラインを容易に処理できます。さまざまな工程ニーズに合わせてカスタマイズできるため、既存の製造ライン・システムとの互換性が高くなります。このツールは、複数のウェーハを操作する際に信頼性が高いことが証明されており、手動操作を排除することで大幅にコストを削減できます。また、PST PST100は高度な安全機能を使用しており、効率的で安全なウェーハ処理に最適なソリューションです。