中古 ASYST NRI 2150 #9119975 を販売中

ASYST NRI 2150は、半導体製造設備で使用するために設計された高性能ウエハハンドラです。装置は自動的に処理のためのウェーハをロード、アンロード、シャトル、および整列するように設計されています。2150は、大量のウェーハを精密に処理する必要のあるアプリケーションに最適です。NRI 2150は、1台のマシンに最大5つのツールを搭載し、大規模な試験および製造作業に費用対効果の高いソリューションを提供します。ASYST NRI 2150のコンパクトで効率的な設計は、1つのシステムで複数のプロセスツールを利用した統合システムに適しています。このユニットは、高度なプロセス整合性を保証する軽量で堅牢な構造で設計されています。優れた再現性と精度を兼ね備えたこのユニットは、正確なウェーハ処理プロセスを可能にします。NRI 2150には、生産効率とスループットを最適化するいくつかの高度な機能が搭載されています。ウェーハシャトルは、ウェーハの迅速かつ円滑な交換を容易にするために、最大1。2メートルの長さを持っています。このマシンは、ウェーハサーフェス全体を迅速かつ正確にスキャンし、ロード時間を最小限に抑え、スループットを最大化することができます。ASYST NRI 2150には、敏感基板を保護するための温度制御サブシステムも装備されています。この機能は、加工チャンバ内の温度範囲を一定に保ち、プロセスの安定性と再現性を確保します。また、フロントサイドのプリアライナーを内蔵しており、ウェーハの正確なローディングとアライメントを保証します。NRI 2150には、ウェーハの存在を自動的に検出し、効率的な取り扱いを実現するセンサーが内蔵されています。この機能により、ウェーハの手動操作が不要になり、オペレータの安全性が向上します。さらに、このツールは、1時間あたり最大200ウェーハをロードすることができ、セットアップ時間を短縮し、プロセスの起動を高速化することができます。全体として、ASYST NRI 2150は、大量の半導体製造アプリケーションに最適なソリューションであり、正確で信頼性の高いウェーハ処理性能を提供します。手作業とガード作業を排除し、生産効率を向上させ、生産コストを削減します。