中古 ASYST LPX 2200 #9220762 を販売中

ASYST LPX 2200は、半導体、太陽光、LED産業の自動処理アプリケーションに使用されるウェハハンドラです。最大ダイ径16mm （0。64インチ）の200mm （8インチ）と300mm （12インチ）の単一ウェーハの積み込み、輸送、アンロードが可能です。ASYST LPX-2200は、既存のプロセスに簡単に統合できる柔軟で信頼性の高いソリューションであるように設計されています。ウェハハンドラは、ベースユニット、A/Cドライブ、ユーザーインターフェイス、トランスポートサブシステムの4つの主要コンポーネントで構成されています。ベースユニットにはLPX 2200の主要コンポーネントが収納され、電源、駆動回路、プリント基板、メカニカルフレームが収納されています。A/Cドライブは、ウェーハを機械全体に移動させるトランスポートサブシステムの動作を制御するのに役立ちます。ユーザーインターフェイスは、オペレータに機器のパラメータとコマンドへのアクセスを提供します。これには、ローカルタッチスクリーン、リモートユーザーインターフェイスPC、およびイーサネット/シリアル通信のオプションが含まれます。トランスポートサブシステムは、ウェーハのロード、アンロード、および輸送を担当します。真空ベルトシステムを使用してウェーハを移動させるだけでなく、ウェーハを機械全体に素早く正確に移動させることができる堅牢なコンベア機構を採用しています。LPX-2200は、安全性と信頼性の厳しい基準を満たすように構築されています。このユニットは、剛性のあるメカニカルフレームだけでなく、動的および静的制御システムを使用して、正確な位置決めと再現性を保証します。さらに、このマシンには、粒子汚染のリスクを低減する環境制御ツールも含まれています。性能面では、ASYST LPX 2200は、1時間あたり最大1930ウェーハの処理速度を達成することができます。アセットは既存のツールセットと容易に統合できるように設計されており、オープンコミュニケーションプロトコルとAPIの両方を提供して自動化を可能にしています。このウェハハンドラには、複数のウェハ機能、ウェハアライメント制御、エッジアライメント、インテリジェントツールローディングなどの高度な機能も含まれています。ASYST LPX-2200は、半導体、太陽電池、LED産業の要求に応えるように設計された、効率的で信頼性の高い柔軟なウェハハンドラです。堅牢な構造と高度な機能により、自動処理アプリケーションに最適です。