中古 ASYST LPX 2200 #293829501 を販売中

ASYST LPX 2200は、さまざまなサイズのシリコンウェーハの正確で正確で信頼性の高い転送用に設計されたマルチチャンバー自動ウェーハハンドラです。温度、圧力、真空、脱水などのウェーハ転送プロセス中の重要なパラメータを正確に監視できます。これにより、加工されたウェーハは安定した最適な状態に保たれ、最高の品質を提供します。ASYST LPX-2200は、強力な真空吸引と正確なX、 Y、 Z変換テーブルにより、正確なウェーハ処理を保証します。ロータリーテーブルは、一貫したウェーハ回転機能を提供します。加熱されたトランスファーアームは、最大200mm （mm）のウェーハを受け入れ、正確なウェーハ位置決めを保証します。暖められた移動腕の温度は10°Cから50°Cに調節可能です。この輸送機器は、運転中に意図しない物体を検出するためにライトカーテンモニタリングシステムを採用しており、偶発的な故障のリスクを低減します。このユニットは、機械または電気故障の場合に自動故障回復機能も備えています。PCベースの制御ツールは、手動操作と自動操作の両方をサポートする柔軟な自動化を提供します。LPX 2200アセットは、JEDECの標準カセットアダプターやEIAJカセット、丸型シングルスロットレスウエハリング用のウェハリングアダプターなど、さまざまなアクセサリーで利用できます。バーコードリーダーなどの外部センサーもサポートしています。LPX-2200は効率的で信頼性の高い柔軟なウェーハ加工技術です。幅広い要件に適合するように設計されており、さまざまなウエハサイズと形状の堅牢なセットアップを提供します。自動化された機能により、迅速かつ効率的なウェーハ転送を実現し、加熱されたトランスファーアームは正確で正確なウェーハ処理を保証します。さらに、このモデルのさまざまなアクセサリと外部センサーは、中断や故障を最小限に抑えたさまざまなアプリケーションをサポートします。