中古 ASYST LPT/LPI 2200 #9126384 を販売中

ASYST LPT/LPI 2200ウェハハンドラは、高性能半導体製造用に設計された先進的なウェハハンドリング装置です。これは、ローディングとアンローディングプロセス全体で正確な位置と温度制御を維持するクローズドループシステムです。メインコントローラ、ウェーハハンドラ、ウェーハエレベーター、モーター付きフィーダーで構成されています。ウェーハハンドラは、真空ウェーハリフティングと磁気ハンドリングを使用してウェーハをステージ間で安全に移動させる2段階のマシンです。メインコントローラは、統合されたコンピュータ、キーボード、およびディスプレイで構成されており、オペレータはツールのすべてのコンポーネントをプログラムおよび制御できます。ウェーハエレベータは、ハンドラーの壁の間でウェーハを輸送する電動資産です。送り装置は、適切なタイミングと速度でモデルにウェーハを提供するとともに、転送中のウェーハに適切な熱環境を提供する責任があります。ウェハハンドラは、ウェハサイズの範囲に対応するように設計されています。静的ウェーハチャッキング設計により、各ウェーハとのスムーズで安全な接触を保証します。この装置は最大250mmのサイズのウェーハに対応でき、異なるグリップ力オプションを備えています。また、さらに安全なウェーハチャッキングを確保し、損傷を防ぐために調整可能な圧力を提供しています。ASYST LPT/LPI 2200ウェーハハンドラは、正確な再現性と再現性の精度を提供するように設計されており、高スループットのアプリケーションに最適です。これは、高速セトリング時間を備えており、毎時1000までのウェーハを実行するようにプログラムすることができます。高度なアルゴリズムとセンサベースの操作により、圧力から温度まで、プロセスのすべての変数を正確に制御できます。さらに、システムはリアルタイム監視オプションを提供し、工場の中央制御システムにネットワーク接続することができます。ASYST LPT/LPI 2200ウェーハハンドラは、高速半導体製造アプリケーションで信頼性の高い正確なウェーハハンドリングを提供するように設計されています。統合されたウエハハンドリングユニットは、積み下ろしプロセス全体にわたって正確かつ再現可能な位置と温度制御を提供します。その信頼性の高いウェーハチャッキング設計により、各ウェーハとの接触を確実にし、調整可能な圧力オプションによりデバイスの損傷を防ぎます。迅速なセトリング時間、高度なアルゴリズム、リアルタイム監視オプションにより、プロセスを最適に制御できます。