中古 ASYST LPT 2200 #9384482 を販売中

ASYST LPT 2200は、クリーンルーム環境で200mmと300mmの両方の半導体ウェーハを輸送し、正確に配置するように設計された信頼性の高いウェーハハンドラです。装置は2つの主要な部品から成っています；ウェーハトレイへのウェーハのピッキングと配置を制御するウェーハ搬送インターフェースキャビネットと、ウェーハ搬送ステージを駆動するメカニズムを収容するウェーハ搬送サブシステム、温度、湿度、粒子モニタ。ASYST LPT2200は、電動ステッピングモータ、ベルト駆動、プログラマブルマイクロステージ、および3軸クローズドループジョイスティック制御システムを使用して、デバイス内のウェーハを正確に配置します。このデバイスにはプログラマブルポジショナーが装備されており、1。26umから5umまでの感度と+/-2。5umの再現性を備えているため、デバイスが使用されているときにウェーハを非常に正確かつ正確に配置できます。LPT 2200は、4インチから9インチ、または200mmおよび300mmウェーハの範囲のトレイサイズでウェーハを輸送できるように設計されており、一度に最大6個のウェーハを保持できます。また、2つのウェーハ間ウェーハ構成用に設計されており、手動で介入することなく、トレイからトレイにウェーハを簡単に転送できます。このデバイスには、異なるプロセス機器間のエアシールドとして機能する電気空気圧絶縁バルブも含まれています。このエアシールドは、デバイスが動作できるクリーンで制御された環境を提供することにより、汚染の蓄積を防ぐのに役立ちます。さらに、このデバイスは、41°Cの最高温度と20〜60％の湿度で動作するように特別に設計されています。これは、さまざまなクリーンルーム環境での使用に適していることを意味し、クラス10やクラス100のクリーンルームなどの危険な場所でも使用できます。結論として、LPT2200はクリーンルームなどの高精度な環境やアプリケーションでの使用に最適な、信頼性の高い正確なウェハハンドラです。3軸制御システム、温度、湿度、粒子モニタリング、ベルト駆動、プログラム可能なマイクロステージ、および電気空気圧絶縁バルブにより、半導体ウェーハを正確に輸送および位置決めし、優れた性能を提供するように設計されています。