中古 ASYST LPT 2200 #9298601 を販売中

ASYST LPT 2200は、半導体業界で使用するために設計されたウェハハンドラです。半導体ウェハの搬送・取り扱いに使用される自動ウェハハンドラです。ASYST LPT2200には、さまざまな種類のウェーハサイズに対応できるプロセスチャンバーがあり、さまざまなウェーハの効率的で信頼性の高い取り扱いが可能です。LPT 2200は、いくつかの特定のコンポーネントを備えた統合ウエハハンドラです。メインチャンバーにはロードポートが装備されており、チャンバーからウェーハをロードおよびアンロードするために使用されます。ロードポートは、ウェーハの積み下ろしを容易にするために使用されるウェーハ転送機構で構成されています。これは、チャンバーの上部を移動し、ウェーハのキャリアとして機能するロボットアームの動きによって達成されます。その後、ウェーハを水平方向と垂直方向に移動するリニアスライドに転送し、ウェーハの正確な位置決めを可能にします。ウェーハホルダーアセンブリとチャンバーの中央にある検出器は、LPT2200の他の重要なコンポーネントです。ホルダーアセンブリはウェーハの動きを追跡するために検出器が使用されている間ウェーハを保持し、回転させます、ウェーハがテストのために適切に配置されていることを確認します。また、ウェーハホルダーにウェーハを配置するための位置決めアームを内蔵しています。位置決めアームは、x、 y、 z軸に沿ってウェーハを移動するために使用されるリニアスライドで構成されています。これにより、試験場所とのウェーハの正確かつ正確なアライメントが保証されます。ASYST LPT 2200はまた部屋内の環境を維持するのを助ける専用の温度調整およびスリラーシステムを含んでいます。これは、ウェーハがテストおよび処理される最適な条件にあることを保証するのに役立ちます。最後に、ASYST LPT2200には、ウェーハの安全な取り扱いを保証する多数の安全機能があります。これらの機能には、ドアインターロック、アクセス制御、緊急電源遮断システムが含まれます。これらの機能は、チャンバー内で取り扱う際にウェーハが安全であることを保証するように設計されています。全体として、LPT 2200ウェハハンドラは、半導体業界で使用するために設計された、正確で自動化された信頼性の高いウェハハンドラです。その統合された技術と安全機能により、ウェーハの正確で信頼性の高い取り扱いが必要な環境に最適です。