中古 ASYST LPT 2200 #9298454 を販売中

ASYST LPT 2200は、大量生産および高精度操作のために設計された革新的なウェハハンドラです。幅広いウエハサイズに対応できるように設計されており、毎時203ウェハまでの速度で動作できます。ASYST LPT2200は、フロントオープンとバックオープンの両方のウェーハカセットに適しており、生産性を向上させ、ウェーハのミッシャンドリングを削減するさまざまな機能を提供します。LPT 2200の中核は、統合された選別機マガジン装置です。このシステムにより、ユーザーは必要な数のウェーハカセットを迅速かつ正確に保管および取得できます。Sorter-magazineは、最大203個のカセットを格納するための大容量マガジンを備えており、正確なカセットの選択と検索のためのプログラム可能なインデックスソーターを運営しています。ウェハカセットは、LPT2200にインターフェースされたロボットアームからマガジンホイールに装填されます。カセットをホイールにロードすると、選択したウェーハをインデックス化して自動的にソートできます。カセットは所定の位置に保持され、ユニークなステンレススチールカセットクランプユニットによって保護されています。高速選別作業時のカセットの滑りやシフトを防止します。カセットクランプ工具は高精度で摩擦が少ないため、高精度・大量生産に適しています。ASYST LPT 2200は、プログラマブルサーボモータの位置決めアセットも備えており、ウェハの正確な位置決めを可能にします。これにより、ウェーハの選択および除去作業中に正確にウェーハを配置することができます。さらに、ウェーハハンドラにはデュアルリニアモーションモデルがあり、正確で高速なウェーハ回転操作が可能です。これにより、ウェーハが正確な操作のために正しい方向に配置されます。また、ASYST LPT2200には高度な信号検出装置が搭載されており、ウェハカセットの位置が変更されるたびにハンドラに信号を送信します。この信号は、ソータマガジンを停止し、必要に応じてリトライをトリガーするために使用できます。最後に、LPT 2200には、リアルタイム監視制御用の統合された光学制御システムが搭載されています。これにより、ウェハハンドラ内のプロセスをリモートで監視および制御することができ、安全で安全な動作環境を提供します。LPT2200は、大量かつ高精度な生産操作を提供するように設計された強力で精密なウェーハハンドラです。その機能と高度な信号検出ユニットの範囲で、それは効率的で安全なウェーハ処理操作のための素晴らしいツールです。