中古 ASYST LPT 2200 #9291616 を販売中

ASYST LPT 2200は、ASYST Technologiesが開発した統合ウエハハンドラです。半導体製造プロセスの異なるチャンバ間でウェーハを転送するために設計された、信頼性の高い精密な試験装置です。ASYST LPT2200は、効率を最大化し、全体的な設置面積を削減するために、コンパクトでモジュラー設計を備えています。独立したジョグとチルト機能を備えたシングルアーム設計で、最大200mmの直径のウェーハを正確に転送できます。また、迅速なセットアップとアクションサイクルを備えており、各ウェハの迅速かつ信頼性の高い転送を保証します。LPT 2200は、正確で反復可能な動きを提供し、位置誤差を最小限に抑えるように設計された長寿命のサーボモータによって駆動されます。その標準的な構成は、障害物を監視し、検出するために、赤外線カメラなどの複数のセンサーが含まれています。また、ウェーハの正確なアライメントに合わせて調整できる高度なロードロッカーを備えており、より高速なウェーハ転送を高精度で提供します。LPT2200は、複数の構成とセットポイントを備えた使いやすく汎用性の高いユーザーインターフェイスを提供し、オペレータが各ウェーハサイクルのフローとプロトコルをプログラムできるようにします。精度を損なうことなく、プロセス要件に応じて部品の交換を可能にするモジュール設計を持っています。また、高度なソフトウェアにより、ユーザーは動作パラメータとトレースデータを監視、診断、分析することができます。ASYST LPT 2200はクラス1のクリーンルームの標準に迎合的で、プロセス部屋の中の管理された環境を維持できます。継続的な操作と監視のために、システムはリモートでアクセスできるリモートコンソールに接続されています。これにより、より迅速かつ効率的なウェーハ転送が可能になります。ASYST LPT2200は長期および信頼できる操作のために設計されています。堅牢な構造と低消費電力で、ワークショップや生産環境に最適です。また、自己診断機能と自動調整機能を内蔵し、信頼性とパフォーマンスをさらに向上させています。高度な設計と堅牢な構造により、LPT 2200はウェーハ処理アプリケーション向けの信頼性と費用対効果の高いテストソリューションです。