中古 ASYST LPT 2200 #9275212 を販売中

ASYST LPT 2200は、HVM （High Volume Manufacturing）とR&D研究所の両方の精密ファブオートメーション用に設計されたウェハハンドラです。200mmまたは≤ 150mmのウェーハ（または50mm正方形）用に構成されたコンパクトでコンパクトなウェーハハンドラで、正確で反復可能な基板の動きを提供≤ます。それは振動および機械衝撃を減らしながら信頼できる動きの応答を提供する独特な懸濁液の設計を特色にします。ASYST LPT2200には、メインフレーム、リニアポジショニングテーブル（LPT）、ウェーハステージの3つの主要部品が装備されています。メインフレームは、LPTの構造的整合性をサポートし、提供します。ウェーハステージは多軸ステージで構成され、高速かつ正確なウェーハハンドリングが可能です。LPTは、サーボドライブモーター、高速かつ精度の高いステージを動かすためのリニア電動レール、さらなる安定性を提供するローラーテーブル、振動と機械的衝撃を低減するための柔軟性の4つの主要部品で構成されています。LPTは装置の重要な部品であり、振動や機械的衝撃を最小限に抑えながら、信頼性の高い運動応答を確保するために設計が最適化されています。その精度と性能をさらに高めるために、LPTは高解像度エンコーダで駆動されます。これにより、位置と速度の正確な制御が可能になり、システムは厳しいスループット要件を満たすことができます。LPTには、専用モーションコントローラ、ステッピングモーターサーボ、エンコーダのサポートなどの高度な機能も装備されています。これらの機能は、強力なソフトウェアとハードウェアの使用とともに、効率的でスムーズな操作を保証します。LPT 2200ウエハハンドラは、ユニットの位置と速度を監視するためのセンサーの配列もサポートしているため、パフォーマンスのさらなる最適化が可能です。結論として、LPT2200は精密ファブオートメーションに最適な信頼性の高い高度なウエハハンドリングマシンです。独自のサスペンション設計、高度な機能、センサーにより、高精度で再現性があり、厳しいスループット要件を満たすことができます。コンパクトで効率的で、幅広い基板サイズに対応し、汎用性を最大限に高めています。