中古 ASYST LPT 2200 #9221773 を販売中

ASYST LPT 2200は、半導体加工ツール間で350mm、 300mm、 200mmウェーハを輸送および操作するように設計された完全自動ウェーハハンドラです。この機器は、Galilモーションコントローラ、2つの高調波ドライブ、および高解像度のPbフリーのリニアエンコーダを使用して構築されています。小型のフットプリントと最適化された設計により、クリーンルーム環境内での動作を可能にし、複雑な半導体アプリケーションに必要な高いスループットと精度を提供します。ASYST LPT2200の主な機能は、キャリア転送とベイ間のアライメントです。4つの処理ベイポートのうちの2つは、システムのX-Y軸と回転ステージによってサブミクロン精度で配置されており、検査ポートと処理ポートの間でウェーハを素早く移動させることができます。また、リニアステージングユニットは、ベイ・トゥ・ベイおよびマガジンポートからウェーハ交換を可能にし、マシンが様々な操作を行うように設定することができます。このツールは、ヒューマンエラーを排除し、損傷の可能性があるイベントに対して繊細なウェーハを保護するように設計された多数の安全機能を備えています。これらには、障害が発生した場合の移動を防止する統合ビジョンアセットと衝突検出センサーが含まれます。さらに、LPT 2200は、多数のエラー診断を実行することができ、包括的な監視と制御のためのプラント全体のアーキテクチャに統合することができます。このモデルには、クリーニングソリューションと必要に応じて圧縮窒素で4つのベイポートのそれぞれを排出して洗浄するさまざまな自動洗浄プロセスも含まれています。非イオン化された水再循環装置によって補完されて、これはシステムの長期的な信頼性を保障し、維持および維持のためにそうでなければ必要とされる手動クリーニングの数を減らします。最後に、LPT2200はPPCエンクロージャに収納された耐久性のある人間工学に基づいて設計されたフレームを備えているため、さまざまなプラント構成や作業環境での使用に適しています。また、ノイズや熱の蓄積を最小限に抑えるように設計されたさまざまな高品質のモーター、アンプ、電子機器も含まれています。直感的でユーザーフレンドリーな制御ソフトウェアと相まって、ASYST LPT 2200はさまざまな半導体加工アプリケーションに最適です。