中古 ASYST LPT 2200 #9217927 を販売中

ASYST LPT 2200は、光学および放射光ウェハプロセスの測定および評価中に確実かつ正確に動作するように設計された、マルチサイトで柔軟かつ構成可能なウェハハンドリング装置です。このシステムは、半導体および太陽光発電産業のアプリケーションに適しています。それはウェーハのローディング、移動、整列および取り外し、また自動化された点検および測定法を含む高度のウェーハの処理技術が装備されており、異なったプロセス条件を満たすために容易に変更することができます。検査時にウェーハのリアルタイム画像をキャプチャできる高解像度の光学イメージセンサと、画像を自動解析して欠陥や仕様からの逸脱などの異常を特定する画像処理技術を搭載しています。これにより、コンポーネントとアセンブリがコンポーネントとプロセスの要件を満たすことができます。このマシンはモジュール式に設計されており、140mmから300mmまでの幅広いウェーハハンドリングテーブルサイズを備えています。これにより、さまざまなウエハサイズの自動処理と測定が可能になります。このツールはまた、プロセスの特定のニーズを満たすために簡単にカスタマイズできる中央コントローラを備えています。コントローラは、複数のウェーハハンドラモジュールを制御することができ、複数のユーザー定義シーケンスを実行するようにプログラムすることができます。ウエハハンドリング機能に加えて、ウエハ検査、測定、分析を行うことができるさまざまな自動検査システムを備えています。これには、光学測定、振動解析、非破壊検査が含まれます。ASYST LPT2200には統計的プロセス制御モデルも含まれており、リアルタイム生産時の自動データ評価が可能です。装置はまた、人員を保護するように設計されている複雑な安全システムだけでなく、装置やユニットの他のコンポーネントが装備されています。これには、ウェーハの処理動作を監視する複数の信号機と、さらなる処理に適していない検出されたウェーハを安全に処分する自動ウェーハ処理機構が含まれます。全体として、LPT 2200は、精度、信頼性、および半導体および太陽電池産業向けの幅広い機能を提供する高度なウェハハンドラです。これにより、部品やアセンブリの製造、検査、評価が容易になり、プロセスが効率的かつ一貫して行われることが保証されます。