中古 ASYST LPT 2200 #9217926 を販売中

ASYST LPT 2200は、自動化されたアセンブリおよびパッケージングプロセスで使用するために設計されたロボット制御ウェハハンドラです。さらに処理または包装のためにウェーハを取り出し、運び、配置することができます。ASYST LPT2200は、メインロボットアームとオプションのセカンドアームで構成され、パフォーマンスをさらに向上させます。その2軸の油圧ガントリーは、+/-0。15mmの繰り返し精度で正確な位置決めを可能にします。ロボットアームにはレーザー距離測定装置を搭載しており、ウェハ寸法に関係なく正確なウェハ配置が可能です。これにより、手動で調整することなく、正確で一貫したウェーハ位置の配置が保証されます。LPT 2200は、独立したウェハコントロール、ウェハトランスポート、リバースフィードなど、さまざまなウェハハンドリングソリューションを提供しています。独立したウェーハ制御機能により、ロボットは1つのウェーハをプロセスで必要とされる正確な位置に正確に配置できます。ウェーハトランスポート機能は、複数のウェーハを一定の圧力で同時に移動させることで、スムーズかつ正確にウェーハを拾い上げて下ろすことができます。リバースフィードオプションは、複数のウェーハを同時に配置してピックアップするピックアプリケーションに最適です。LPT2200は、ウェーハ配置の完全性を検証し、エラーを防止する自動検証システムを備えています。統合された検証ユニットは、プロセスが継続する前に各ウェーハの存在を確認します。ウエハの向き、ウエハシェルの直径、接触部なども検査します。ロボットアームにはダイナミックチルトカウンターウェイトツールが搭載されており、高速動作でも一定のバランスを確保します。また、ウェーハの厚さや接触パターンなどを測定する検査工程も可能です。ASYST LPT 2200は、外部の空気サポートの必要性を排除する信頼性の高い内部空気供給モデルを備えています。この装置は、脆弱で敏感なウェハを処理する際に正確な圧力制御を提供します。統合された冷却システムはまた速く、エネルギー効率が良い操作を可能にします。ロボットアームは、危険な環境で動作し、防塵・防水をisIP65することも認定されています。ASYST LPT2200は、信頼性の高いウェーハハンドラであり、長期的かつ低メンテナンスを実現します。頑丈な構造と高精度により、自動組立および包装プロセスに最適です。LPT 2200は、幅広い寸法、形状、サイズの異なる種類のウエハを取り扱うことができます。ロボットアームは、シームレスで一貫した正確な処理のために、1分間に最大15個のウェーハを処理できます。