中古 ASYST LPT 2200 #9217833 を販売中

ASYST LPT 2200ウェーハハンドラは、半導体生産ラインでウェーハを安全に処理するように設計された産業用ロボットです。同社のLucky Positional Tilt （LPT）シリーズのウェーハハンドリングロボットの一部であり、大規模なウェーハ処理アプリケーションに最適です。ASYST LPT2200は、直径75mm （200mm）のラウンドシリコンウェーハ、または6つの150mm （200mm）スクエアウェーハを保持および搬送できるダブルアーム機構を備えています。ロボットは、高度なモーションコントロールを使用して、さまざまなツール、プロセスステーション、パスにウェーハを転送することができます。CCDセンサーは精密な制御に最適で、ソフトウェア制御の傾き機能により、ウェーハの輸送や輸送の問題を容易に管理できます。LPT 2200は比較的運動範囲が広く、ウェーハを多方向に搬送することができます。その腕はほぼ600mm （1。4m）に達します。高度な追跡技術により、精度と再現性がさらに向上します。ロボットは安全のために設計されており、すべての振動と騒音基準を満たしています。また、過電流、過圧、過熱保護を含む包括的な安全システムも備えています。LPT2200には、プログラムと使用を容易にする一連のプログラミングツールが含まれています。プログラムの設定、ウェーハの選択と転送、さらには複数のロボット操作をプログラムするための直感的なユーザーインターフェイスが提供されています。また、単純な線、円形のパス、ターゲットベースの動きなど、さまざまなロボット軌道でプログラムすることもできます。ASYST LPT 2200は低い維持および長いワーキング・ライフの24-7操作のために設計されていました。それは30,000時間または5年間の操作のためにテストされ、新しく、既存の製品ラインに統合することができます。複数のウェーハ処理機能と堅牢な設計により、ASYST LPT2200は大規模なウェーハ処理に最適です。