中古 ASYST LPT 2200 #9184276 を販売中

ASYST LPT 2200は、プロセスモジュール間の半導体ウェーハの効率的で安全かつ再現性の高い動作を保証するために設計された専用ウェーハハンドラです。ASYST APTウェーハハンドリングプラットフォームの一部であり、半導体ウェーハを使用する際に特に信頼性が高く強力な選択肢となります。ASYST LPT2200は、カセットまたはプロセスモジュール間でウェーハを損傷することなく移動するように設計されています。垂直および水平の両方の搬送システムからウェーハを転送することができます。その信頼性の高い設計により、ウェーハとプロセスモジュール間の正確なアライメントが保証されます。さらに、伝達チャンバの温度を調節するために機能する統合熱制御を備えており、プロセス間を移動する際にウェーハを一定の温度に保ちます。LPT 2200はコンパクトで省スペースな設計で、限られた領域でのチップの効率的な取り扱いが可能です。オープンフレームは様々なオートメーションシステムに容易に対応し、モジュラー設計により迅速で簡単な設置とメンテナンスが可能です。ダウンタイムを最小限に抑えるように設計されており、処理カセット構成間の迅速な切り替えが可能です。LPT2200はウェーハサイズを6〜200mmまで対応可能で、ウェーハ位置の調整が可能です。強力な真空ピックアップシステムを搭載し、ウェーハの安全な移動と安全な解放を実現します。その電動リニアドライブシステムは、セラミックおよびステンレススチールプロセスモジュールに精密な堆積物を作成します。ASYST LPT 2200に容易なクリーニングおよび維持のための取り外し可能なドアが付いている内部ステンレス鋼の部屋があります。ASYST LPT2200は、自動半導体ウェーハ処理に最適です。それは信頼でき、取付け、維持し易く、さまざまなウエハサイズを扱うように設計されています。正確なアライメントと堅牢な設計により、ウェーハを損傷から保護しながら、プロセスモジュール間の効率的で反復可能なウェーハ移動を保証します。