中古 ASYST LPT 2200 #9146576 を販売中

ASYST LPT 2200は、さまざまな太陽電池製造プロセスで使用するために設計された従来のロボットウェハハンドラです。高精度で信頼性の高い動作の複数の軸を備えており、正確で複雑なウェーハ操作と配置を可能にします。このウェーハハンドラは、ウェーハ検査、ウェーハソートとハンドリング、ウェーハテスト、ウェーハクリーニングなどのアプリケーションに幅広い柔軟性と効率性を提供します。ASYST LPT2200の主なコンポーネントは、ウェーハシャトル、ZおよびXYステージ、および4軸ロボットアームです。ウェーハシャトルは、ウェーハの正確で信頼性の高い輸送用に設計されたモーター付きデバイスです。それは統合ポイント間で水平に動くことができ真空のチャックはウェーハとのグリップそして相互作用を提供します。ZステージとXYステージはリニアタイプで、平行運動を持ち、縦軸と横軸の正確な移動を可能にします。4軸ロボットアームは、4軸（X1、 X2、 Y、 Z）に沿って精密な動作を行うことで、さまざまな作業を行うことができます。LPT 2200の制御装置はMCSの動きシステムに基づいています。このモーションコントロールユニットには、特別なサーボコントローラ、24V DC電源、および複数のI/Oモジュールが含まれています。サーボコントローラは、ウェーハハンドラコンポーネントの全体的な制御を担当し、デバイスの正確で滑らかな動作を可能にします。I/Oモジュールは、さまざまなマシンコンポーネントのI/O制御を提供し、ウェーハ処理プロセスを柔軟かつ動的に制御できます。さらに、LPT2200は正確なアライメントのためのビジョンマシンと、脆弱なウェハのより良い処理のための統合されたグリッパーを備えています。ウエハハンドリング機能をさらに拡張する拡張キットも用意されています。このウェハハンドラは、高性能、信頼性、柔軟性を兼ね備えており、さまざまな太陽電池製造プロセスに効率的なソリューションを提供します。