中古 ASYST LPT 2200 #9111909 を販売中

ASYST LPT 2200は、半導体および関連産業向けに設計されたウェハハンドラです。高速で高精度なウェハハンドリングアプリケーションに使用されます。設置面積が小さいASYST LPT2200は、コンパクトなソリューションを必要とするアプリケーションに最適です。LPT 2200は、極めて精度の高い高感度な基板に対応するために開発されたモジュール式の高精度ウェハハンドラです。LPT2200は、ウェーハカセットの位置を移動しながら、基板アライメントを積極的に維持するように設計されています。その複雑なデザインにより、ツールを簡単に変更し、特定のアプリケーションのニーズに合わせて調整することができます。ASYST LPT 2200は、最大205mmウェーハ、最大4ウェーハを一度に処理できます。ASYST LPT2200には、3方向に1ミクロンの再現性を提供する多軸シングルバードケージロボットアームが含まれています。ロボットはウエハーを扱うとき937mm/sの最高速度を提供します；カセット間の移動時の最高速度は1,500mm/sです。LPT 2200の洗練された設計には、ウェーハ管理とピックと場所の精度のための真空吸引装置が含まれています。外部マニホールドタイプの圧力レギュレータは、統合された流量計を含み、最大25 in Hgの真空レベルを作成することができます。ピンチャックとリフトメカニズムを備え、ウェーハの迅速な起動を可能にし、調整可能なスティッションポイントを提供します。LPT2200は、小型フォームファクタウェハハンドリングを必要とするラボ、パイロットプラント、生産ラインに最適です。洗練されたパフォーマンス機能に加えて、操作が簡単なユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス、統合診断ソフトウェア、オプションのSCADA接続も備えています。要約すると、ASYST LPT 2200は高速かつ高精度のウェーハハンドリングソリューションに最適です。このマシンは、さまざまな基板サイズに対応し、繰り返し可能なプロセス結果を提供するように設計されています。セットアップとメンテナンスには最小限の時間と労力が必要で、外部制御システムと容易に統合できます。