中古 ASYST LPT 2200 #9111901 を販売中

ASYST LPT 2200は、ASYST Technologies、 Inc。が開発したウェハハンドラです。最大ウエハ径200mmの-20〜+150°Cの温度で様々なウエハータイプを加工することができます。モジュラーフレームと高度なモーションシステムで構成され、各操作の精度と再現性を確保します。このシステムは、精度と信頼性を考慮して設計されており、ウエハハンドリングの業界ベストプラクティスが組み込まれています。ASYST LPT2200は、ウェーハごとに高精度のフォース制御位置決め技術を使用して、最も正確なアライメントを実現し、生産環境での動作に適しています。LPT 2200はトレイごとに最大60個のウエハーを収容でき、トレイのサイズはさまざまなウエハータイプで完全にプログラム可能です。ロードポートはウェーハの積み下ろしを最適化するように設計されており、ウェーハの位置を最適化するためのマルチゾーン温度コントローラが内蔵されています。ウェーハプレゼンスセンサーも付属しており、トレイの自動認識とアライメントが可能です。LPT2200は調節可能な変数とプロセス制御を提供し、特定のプロセスレシピに一致させるようにプログラムすることができます。このシステムは、JAM-on Control SoftwareとRemote Device Managerの互換性を備えた標準オペレーティングシステムと互換性があります。ASYST LPT 2200には、安全インターロックおよびエラー認識技術も含まれています。Safety Interlockは、すべてのウェーハが適切に処理および配置されていることを保証します。ASYST LPT2200には、トレイ使用数、サイクルタイム、モーション精度、ウェーハプレゼンスなど、プロセスを監視するためのさまざまな重要なパフォーマンス指標も組み込まれています。これらのKPIにより、ユーザーは精度と品質基準を追跡および維持することができます。全体として、LPT 2200は信頼性の高い高精度ウエハハンドラであり、操作の柔軟性と再現性を提供します。高度な機能とプロセス制御機能を備えたLPT2200は、幅広いウエハタイプの高品質で大量生産に最適です。