中古 ASYST LPT 2200 #9016891 を販売中
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販売された
ID: 9016891
ウェーハサイズ: 8"
SMIF Loader, 8"
Asyst LPT-2200 bolt-on SMIF load-port
Part no. 9700-6232-01
Right-hand orientation
Vertical movement
2001 vintage.
ASYST LPT 2200は、半導体プロセス制御に不可欠な一貫した信頼性の高い材料処理および管理を提供するように設計された高度な自動ウェハハンドラです。このデバイスは、100mmから200mmまでの幅広いウエハサイズに対応でき、高速、精度、効率で毎分200キャリアまで移動できます。ASYST LPT2200は使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを使用しており、ウェーハの追跡と堆積プロセスの完全な可視性と制御、および情報のロギングとレポートを提供します。GUIには、機器の状態やイベントのリアルタイム監視、トランスポートコントロールパラメータ、プログラム設定、ジョブ設定を表示する仮想LCDディスプレイも含まれています。さらに、このデバイスは、PCベースの監視/保守ソフトウェアを使用して機器の設定を保存、ロード、比較する機能を提供します。LPT 2200は、低い振動、低ノイズ、最小の空気消費を提供する堅牢で人間工学に基づいた設計で構築されています。ハンドラの構築により、モジュール式の内部操作が可能になり、システム環境への容易なカスタマイズ、拡張、統合が可能になります。このデバイスには、ロック可能な蓋、非破壊タッチスクリーン、およびビジョンモニタリングなど、いくつかの安全機能も含まれています。さらに、LPT2200は、100万分の1インチの正確な2軸ウェーハ位置決めユニット、最大200キャリア/分の移動が可能な高速コンピュータ制御ピックアンドプレースマシン、オンボードウェーハ転送ツールなど、プロセス制御と歩留まりを向上させるいくつかの機能を備えています。このデバイスには、取り扱いエリアの清潔さを便利に維持するためのカルーセル構成のライブラリも付属しています。ASYST LPT 2200は毎分200キャリアまで対応可能で、大量生産環境に最適なソリューションです。このデバイスはまた、複数のウエハサイズを処理することができ、拡張性、柔軟性、およびカスタマイズを可能にするいくつかの機能が装備されています。さらに、このデバイスは信頼性が高く効率的であり、信頼性の高い運用と低メンテナンスコストを提供することができます。
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