中古 ASYST LPT 2200 #293729427 を販売中

ASYST LPT 2200は、ASYST Technologiesが設計・開発した、優れた精度とスピードで半導体ウェーハを加工するウェーハハンドラです。この自動化されたハンドラは、従来のシリコンウェーハからサファイアやIII-Vなどの先進的で挑戦的な材料まで、8インチまでのさまざまなサイズのウェーハを扱うのに十分な汎用性があります。ASYST LPT2200のロボットアームは、加工中にウェーハを回転、移動、正確に配置するようにプログラムすることができます。高精度を確保するために、高速サーボモータと精密リニアガイドシステムを備えた洗練された輸送機器を備えています。さらに、LPT 2200のモノウエハバッチとマルチウエハバッチの両方の処理能力は、他のマシンと比較してスループットを大幅に向上させることができます。さらに、このハンドラは、半導体加工ツールだけでなく、キャリア、転送、カセットと容易に統合するように設計されています。LPT2200は、ウェーハの温度、カセット位置、ウェーハ位置を0。0001インチの精度で監視する高度なレーザーセンサーシステムを搭載しています。このセンサは、ハンドラの必要なヘッド速度、アライメント、センタリングを正確に制御することにより、より効率的な処理プロセスを可能にし、ウェーハへの損傷を回避します。さらに、統合されたビジョンユニットは、ウェハローディングおよびアンロード中にさまざまなタイプのサーフェスを位置決め、検査、および整列する際に柔軟性を高めます。ASYST LPT 2200は、密閉されたチャンバー、鍵付きドア、緊急停止ボタンなど、さまざまな安全機能を備えています。最適化された機械設計と信頼性の高いソフトウェアにより、オペレータはプロセス全体を簡単に監視し、実行パラメータ、診断、パフォーマンスを制御できます。ASYST LPT2200は、幅広い半導体関連アプリケーションにおける品質保証とプロセス制御に最適なソリューションです。