中古 ASYST LPT 2200 #293603135 を販売中

製造業者
ASYST
モデル
LPT 2200
ID: 293603135
SMIF Loaders P/N: 9700-5479-01.
ASYST LPT 2200は、プロセスとストレージカセット間でウェーハを移動するように設計されたウェーハハンドラです。無接触スキャンによるウェーハソート、キッティング、スクリーニングを可能にし、ウェーハクリーニングとコンタミネーションコントロールの最優先レベルを維持するように設計されています。装置には完全に自動化された統合されたサービス機能が搭載されており、システムのダウンタイムとメンテナンスコストの削減に役立ちます。ASYST LPT2200は、複数の機能を組み合わせたオールインワンデザインを備えています。シングルステージデバイストランスポートユニットは、直径が4インチから12インチまでのフラット、ラウンドウエハ、非フラットウエハの両方を高速で取り扱うことができます。また、8°C〜50°Cの動作温度範囲と、クラス1。0のクリーンルーム定格を備えています。ウェーハハンドラは、操作の特定のニーズに応じて簡単に構成できるモジュラーコンポーネントで設計されています。特許取得済みのFlexD変調技術は正確な位置精度と高スループットを提供し、自動変位および速度監視機能はウェーハの安全で信頼性の高い処理を保証します。LPT 2200は、デュアルレイヤードSMEMAインターロックとセキュアなアクセスを提供する電子エンクロージャで設計されています。その高度なFIS(ファイバ入力機)は、その光学性能に一貫した信頼性の高い入力を提供します。リアルタイムの真空ロードポートにより、連続的な負荷とアンロードが保証されます。一方、ダイチルトT -mask -Eは、基板内の非アクティブなスライスをマスクするために使用されます。また、ウェハハンドラは、ホストデバイスとのFC準拠通信を備えており、機能性とプロトコルの柔軟性を実現しています。MES準拠の通信により、ウェーハアレイと工場システム間の効率的な情報交換が容易になります。その極めて柔軟性と拡張性は、低から大容量の本番環境に最適です。また、LPT2200は光源、カメラ、光学フィルターを含むビジョンツールで設計されており、正確さと高スループットを確保しています。ダブルステージのアセットは、最短時間で最高のスループットを提供します。内蔵モデルの冗長性と診断ツールにより、機器を継続的に監視し、システムエラーを検出するのに役立ちます。結論として、ASYST LPT 2200は、クリーンルームの安全性と効率性を最大化しながら、大量生産環境のニーズに対応するように設計された効率的なウェーハハンドリングユニットを提供します。この汎用性と費用対効果に優れたウェーハハンドラは、半導体製造プロセスに最適であり、ウェーハ処理の成功と信頼性を確保するためのさまざまな機能と利点を提供します。
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