中古 ASYST LPO #9277984 を販売中

ASYST LPOは、ASYST Technologies、 Inc。が製造するウェハハンドラです。半導体ウェーハは、半導体製造工場で1つのプロセス・ステーションから別のプロセス・ステーションに輸送するように設計されています。LPOは、真空ロボットアームと内部デュアルレール転送装置を使用して、1つのプロセスステーションから次のプロセスにウェーハを移動します。デュアル真空システムを内蔵し、信頼性の高い安全なウェハハンドリングを実現しています。このウエハハンドラには、作動中にアームが過熱するのを防ぐ内部冷却ユニットもあります。ASYST Technologies ASYST LPOは100％のアップタイム用に設計されており、生産ラインのダウンタイムを削減します。LPOはオートメーション対応のEtherCATネットワークプラットフォームを利用しており、すべての主要なオートメーションシステムに接続できます。このウエハハンドラは、さまざまなウエハに対応でき、既存のほとんどの生産管理システムと互換性があります。また、部品の故障やウエハの取り扱いに適したシーケンスが検出されない場合は、ツールを自動的にシャットダウンできるセーフティマシンを内蔵しています。ASYST LPOは低メンテナンスコストで設計されており、設置面積が小さい。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスで操作するのも簡単で、PCやモバイルデバイスからリモートでアクセスできます。LPOは、半導体生産ラインを強化する信頼性の高い効率的なロボットウェハハンドラです。ウェーハ操作、ウェーハアライメント、ロボットハンドリングなど、さまざまな生産開発アプリケーションに適しています。ASYST LPOの運用は信頼性と効率性が高く、半導体製造工場の生産スループットを最大化しながら、ダウンタイムとコストを削減するのに役立ちます。