中古 ASYST LPO 2200 #293630337 を販売中

ASYST LPO 2200は、最先端の半導体製造プロセスの厳しい要件を満たすように設計された、半導体ウェーハ処理用のウェーハハンドラです。このウェーハハンドラは、装置の柔軟性を最大限に発揮しつつ、プロセスフローとスループットを向上させるように設計されています。LPO 2200は最大12インチのウェーハを転送することができ、最大負荷容量は最大700キログラムです。デュアル高精度ガイドレールとスプリングウエハハンドリングアームを内蔵した耐久性のあるユニタイズされたダブルロック構造を採用し、さまざまなウエハサイズや形状に簡単に対応できるため、非常に汎用性の高い動作を実現しています。ASYST LPO 2200は、ウェーハハンドリングアームを容易に制御し、外部ソースからのデータの配信と受信を提供する統合制御システムを備えています。このユニットは、ウェーハ表面に関連したウェーハハンドリングアームの正確なアライメントを確保するために、高精度のエンコーダフィードバックを備えた実績のあるサーボ技術を使用しています。LPO 2200には、ウェハレベリングマシンが内蔵されており、処理されるウェハーの角度を監視し、処理されたウェハレベルの均一なアライメントを保証します。このレベルの制御は、処理された表面が均一で傾斜していないことを保証するため、化学的機械平面化などの高度なプロセスにとって重要です。また、処理段階で高温にさらされることが長引くため、ウェーハの過熱を防ぐ熱保護ツールも装備されています。熱保護アセットは、ウェーハのさらなる損傷を防ぐために、ウェーハ温度の変化にミリ秒で反応することができます。最後に、ASYST LPO 2200には、実際のウェーハ位置とウェーハの所望の位置との間の任意の可能な不一致を検出するように設計された高度なビジョンモデルが装備されています。これにより、開始されたプロセスがウェーハ表面と正しく整合し、標準以下のプロセス結果のリスクが回避されます。結論として、LPO 2200は半導体加工のための高性能ウェーハハンドラであり、最大12インチ径のウェーハを転送することができ、最大負荷容量は最大700キログラムです。このユニットには、耐久性のあるダブルロック構造と統合制御装置が装備されていますが、統合された熱保護システムとビジョンユニットは、最高レベルの機械精度、品質、信頼性を保証します。