中古 ASYST LPI 2200 #9262165 を販売中

ASYST LPI 2200は、さまざまな半導体アプリケーションで使用されるように設計された高度なウェハハンドラです。デバイスのコアコンポーネントは、カセットとプロセスチャンバー間で半導体ウェーハを移動するために使用される2つのロボットアームです。アームは位置精度が高く、ウェーハをピックアップして正確に配置するようにプログラムすることができます。LPI 2200には、ウエハハンドリングプロセスを支援する一連のセンサーとエレクトロニクスも装備されています。これには、ウェーハの存在を検出するLEDベースのセンシングシステムと、ウェーハのサイズと向きを検出できるビジョンシステムが含まれます。ウェーハは、タッチスクリーン入力によって検出され、ロボットアーム内のウェーハの転送を開始するために使用されます。このデバイスは、カセットの範囲と互換性があり、一度に最大2つの標準サイズの200mmウェーハを輸送することができます。さらに、1つのカセットで最大2つの12インチウェーハを輸送するためにも使用できます。ウェーハハンドリングアームはスイングドア機能で設計されており、チャンバーツーカセットのワークフローを妨げることなく、単一のウェーハをアームにロードできます。ASYST LPI 2200は、最適なパフォーマンスとユーザーの安全を確保するために、さまざまな安全機能を備えています。これらには、ウェーハハンドラの近くでの従業員の移動などの潜在的な危険を検出する緊急停止ボタンや安全センサーが含まれます。LPI 2200は高度なウェーハ処理装置であり、多くの半導体アプリケーションに適しています。堅牢な構造、直感的なユーザーインターフェイス、高度な安全機能を備えたASYST LPI 2200は、さまざまな業界で大量のウェーハを確実に移動する必要があるユーザーに最適なソリューションです。