中古 ASYST LPI 2200 #9111916 を販売中

ASYST LPI 2200は、中規模のウェーハ処理およびアセンブリ用に設計された高性能ウェーハハンドラです。それは200mm （8インチ）までの中型ウェーハを、処理するように設計されています。LPI 2200は、ウェーハの水平および垂直インデックス、転送、配置に使用できるエンドエフェクタ装置を内蔵しています。また、複雑で正確なウェーハ位置決めのためのデュアルステージアライメントとツイン独立したリニアロボットも備えています。ASYST LPI 2200は、高速ウェハソートとアライメントを提供するように設計されています。ウエハの厚さ0。3mmまで対応可能で、ウエハの処理速度は毎時200以上です。この2段アライメントシステムは、プロセス全体にわたってウェーハの正確で再現性のあるアライメントを提供します。LPI 2200の高速動作と正確なアライメント機能により、アセンブリプロセスに最適です。また、ウェーハソーイングやウェーハダイシングにも使用できます。ASYST LPI 2200は、PZT（ピエゾアクチュエータ）ユニットでウェーハ表面を正確に制御します。PZTマシンは、ウェーハのピッチ、ヨー、ロールを± 15ミクロン以内に制御し、ウェーハ表面の正確なアライメントとタイトな公差を組み立てることができます。LPI 2200はまた、精密なインライン検査を可能にする独自のビジョンツールを備えています。アセットは横方向のカメラを使用して、ウェーハアセンブリに沿ってすべてのポイントで欠陥を検出します。ビジョンモデルにはパターンマッチング技術も搭載しており、ウェハパターンの自動認識が可能です。ASYST LPI 2200に顧客の特定の必要性に合わせることができるモジュラー設計があります。最先端の真空装置、特殊ハンドラー、エンドエフェクターなど、さまざまなオプションがあります。これらのエンドエフェクターは、ウェーハやアセンブリを機械内で移動および転送するために使用されます。全体として、LPI 2200は中規模のウェーハ処理およびアセンブリ用に設計された高性能ウェーハハンドラです。これは、正確なアライメントと信頼性と再現性の高いパフォーマンスを提供する汎用性と信頼性の高いツールです。モジュラー設計により、ASYST LPI 2200はあらゆる顧客のニーズに適応できます。